[发明专利]静压支承旋转工作台对流换热系数计算方法

权利要求书

1.一种静压支承旋转工作台上表面对流换热系数计算方法，其特征在于提出静压支承旋转工作台上表面对流换热系数计算可以比拟为流体流过水平板，侧面对流换热系数计算可以比拟为流体横向掠过竖平壁；侧面对流换热系数的计算可以比拟为流体横向掠过竖平壁，努塞尔数Nu用来衡量对流换热强度，其表达式为：λ为空气的导热系数，λ＝2.30×10^-2W/m·K，α为放热系数，r为半径，在强迫对流的紊流状态下努塞尔数Nu可表示为：

2.权利要求1所述的一种静压支承旋转工作台上表面对流换热系数计算方法，其特征在于提出面积三分等法，计算工作台上表面各部分对流换热系数；为了获得更接近实际工作条件的仿真结果，根据结构与半径将工作台上表面分为等面积的三份，分别计算各部分对流换热系数。

3.权利要求1所述的一种静压支承旋转工作台上表面对流换热系数计算方法，其特征在于确定极端工况下工作台上表面空气流动状为紊流，又因为工作台圆周外侧线速度远大于内侧线速度，所以工作台圆周外侧的空气流动状态也是紊流状态， 旋转工作台边缘外侧空气流动状态和旋转工作台上表面最外侧所对应的空气流动状态相同。