[发明专利]真空阀

说明书

本发明提供一种能够使可靠性提高的真空阀。真空阀1包括收纳阀板6的阀体4、对阀板6进行开关驱动的驱动轴72、对驱动轴72进行真空密封的轴封80、以及防止微粒100侵入到轴封80的突出部8a。因此，即使在微粒100沿驱动轴72的方向产生有移动的情况下，也会通过突出部8a来阻止移动，从而可以防止微粒100侵入到轴封80部分。其结果为，可以防止由微粒100所引起的真空阀1的运行不良，从而使真空阀1的可靠性提高。

技术领域

本发明涉及一种真空阀。

背景技术

众所周知有对固定在驱动轴上的阀板(vlave plate)进行摆动驱动，而进行开关动作的真空阀(例如，参照专利文献1)。在驱动轴上设置有用以真空密封的轴封(shaftseal)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2011-137537号公报

创作内容

[发明所要解决的问题]

然而，当使用真空阀的真空装置是进行成膜工序的装置时，会通过成膜工序而产生生成物。由此，微粒(particle)会落下到安装在真空装置与真空泵之间的真空阀内，如果微粒进入到轴封部，就有可能导致旋转不良或真空密封不良。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选实施方式的真空阀包括收纳阀板的阀体(valve body)、对所述阀板进行开关驱动的驱动轴、对所述驱动轴进行真空密封的轴封、以及防止微粒侵入到所述轴封的防侵入壁。

在更优选的实施方式中，包括保持所述轴封的密封保持构件，所述密封保持构件的阀体侧的端部从所述阀体的内周面突出而形成所述防侵入壁。

在更优选的实施方式中，在所述阀体上，具有所述驱动轴所贯通并且供配置所述轴封的贯通孔，所述防侵入壁是以从所述阀体的内周面突出的方式设置在所述贯通孔的周围。

在更优选的实施方式中，固定在所述驱动轴上的所述阀板的一部分与所述防侵入壁的突出方向上的端面的整个区域相向。

[发明的效果]

根据本发明，可以使真空阀的可靠性提高。

附图说明

图1是第一实施方式的真空阀的外观立体图。

图2是表示驱动轴的密封构造的一例的图。

图3(a)及图3(b)是表示本发明的真空阀的第二实施方式的图。

图4(a)及图4(b)是表示本发明的真空阀的第三实施方式的图。

图5是表示现有构成的一例的图。

【主要元件符号说明】

1：真空阀 2：阀本体

4：阀体 6：阀板

7：驱动部 8、800：密封壳体

8a：突出部 40：阀开口

41：吸气口法兰 61：遮蔽部

62：支撑部 71：壳体

72：驱动轴 73：固定用螺栓