[发明专利]真空阀有效
| 申请号： | 201810016287.5 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN108361400B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 小亀正人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K3/04 | 分类号： | F16K3/04;F16K3/06;F16K3/30;F16K27/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空阀，其特征在于包括：
阀体，收纳阀板；
驱动轴，对所述阀板进行开关驱动；
轴封，对所述驱动轴进行真空密封；以及
防侵入壁，防止微粒侵入到所述轴封。
2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于包括：
密封保持构件，保持所述轴封；并且
所述密封保持构件的阀体侧的端部从所述阀体的内周面突出而形成所述防侵入壁。
3.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：
所述阀体包括所述驱动轴所贯通并且供配置所述轴封的贯通孔，
所述防侵入壁是以从所述阀体的内周面突出的方式设置在所述贯通孔的周围。
4.根据权利要求2或3所述的真空阀，其特征在于：
固定在所述驱动轴上的所述阀板的一部分与所述防侵入壁的突出方向上的端面的整个区域相向。
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