[发明专利]一种气体检测装置

说明书

本发明提供一种气体检测装置，涉及气体检测技术领域，可解决现有技术中无法快速、实时检测是否有气体泄漏的问题。所述气体检测装置，包括气体收集腔、检测部件、管道、以及等离子体发生器；所述气体收集腔用于收集气体样本；所述管道的第一端与所述气体收集腔连通，第二端与所述等离子体发生器的气体进口连通；所述等离子体发生器的喷口朝向所述检测部件；所述检测部件能够与待测气体生成的等离子体发生化学反应，使得所述检测部件的检测面被刻蚀，以检测所述气体样本中是否包含所述待测气体。

技术领域

本发明涉及气体检测技术领域，尤其涉及一种气体检测装置。

背景技术

在生产、实验等过程中常常为了实现某种目的而使用或生成一些有毒、有害、有污染、有腐蚀的气体，通常情况下会对残余或者反应生成的上述气体进行处理，以避免产生危害。但在实际操作过程中，会出现因反应设备或者处理设备老化、磨损、松动等原因导致气体泄漏，而如果无法及时获知存在气体泄漏问题，则会产生安全隐患。

例如在显示技术领域中，等离子体增强化学气相沉积及等离子体刻蚀等装置，需要通过含有氟的气体对腔室进行清洗或对玻璃进行刻蚀，通常情况下，真空腔室内反应副产物及未反应的气体会通过机械泵(Pump)和废气处理前置装置(POU)抽走，POU连接尾气处理装置(scrubber)对气体进行处理。而在实际生产中，在Pump与POU连接时起密封作用的法兰、密封圈及其他密封装置因老化、磨损或松动会导致尾气泄漏。尾气中的三氟化氮(NF₃)是低毒性物质，它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，并腐蚀组织，吸入高浓度NF₃可引起头痛、呕吐和腹泻；另外，其具有强氧化性，与还原剂能发生强烈反应，引起燃烧爆炸，因此NF₃泄漏会带来重大安全隐患。

现有技术中有一种NF₃检测仪，主要采用的是催化热裂解+电化学原理，通过催化剂来降低超高温裂解装置的加热温度。由于裂解需要在高温下完成，从现场的使用效果来看，存在预热时间长的问题。

发明内容

本发明的实施例提供一种气体检测装置，可解决现有技术中无法快速、实时检测是否有气体泄漏的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

提供一种气体检测装置，包括气体收集腔、检测部件、管道、以及等离子体发生器；所述气体收集腔用于收集气体样本；所述管道的第一端与所述气体收集腔连通，第二端与所述等离子体发生器的气体进口连通；所述等离子体发生器的喷口朝向所述检测部件；所述检测部件能够与待测气体生成的等离子体发生化学反应，使得所述检测部件的检测面被刻蚀，以检测所述气体样本中是否包含所述待测气体。

可选的，所述气体收集腔上设置有至少一个透气口。

可选的，所述透气口设置在所述气体收集腔的上半部分。

可选的，所述气体收集腔上用于与所述管道连通的开口设置在所述气体收集腔的下半部分。

可选的，所述气体检测装置还包括泵；所述管道包括第一子管道和第二子管道，所述第一子管道和所述第二子管道通过所述泵连通。

可选的，所述等离子体发生器还包括直流电源以及与所述直流电源的正极和负极分别连接的阳极和阴极，所述阳极包括电弧运动通道；所述阴极设置在所述电弧运动通道的外侧壁上。

可选的，沿所述第一端到所述第二端的方向，所述管道的内径逐渐减小。

可选的，所述检测部件的检测面为所述检测部件上平滑的表面。

可选的，所述检测部件的主要成分中包含Si元素。

可选的，所述气体收集腔由透明材料制成。

可选的，所述气体收集腔上具有透明材料制成的观察窗。