[发明专利]加工系统、形状测定探针、形状算出装置及存储介质有效

专利信息
申请号: 201780097866.0 申请日: 2017-12-25
公开(公告)号: CN111511501B 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 山田智明 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: B23Q17/20 分类号: B23Q17/20;G01B21/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马爽;臧建明
地址: 日本东京港*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 加工 系统 形状 测定 探针 装置 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种加工系统,包括:机床,包含输出测定信息的测定部,所述测定信息用以算出加工对象物的形状;

控制部,生成与测定所述加工对象物时的所述测定部的位置相关的位置信息,并输出所生成的所述位置信息与表示生成所述位置信息的时期的生成时期信号;

获取部,获取所输出的所述位置信息与所述生成时期信号;

推定部,基于所述获取部获取所述生成时期信号的时期,来推定生成所述位置信息的时期;以及

形状算出部,基于所述测定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的时期,来算出所述加工对象物的形状。

2.根据权利要求1所述的加工系统,其中,

所述推定部基于所述获取部获取所述生成时期信号的周期,来推定生成所述位置信息的时期。

3.根据权利要求2所述的加工系统,其中,

所述推定部基于所述获取部获取所述生成时期信号的时期与所述周期的差,来推定生成所述位置信息的时期。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的加工系统,其中,

所述推定部基于生成所述位置信息的时期与所述获取部获取所述生成时期信号的时期的时间差中所包含的系统误差,来推定生成所述位置信息的时期。

5.一种形状测定系统,包括:

测定部,能够安装于机床,且生成用以算出所述机床的加工对象物的形状的测定信息;

获取部,获取所述机床所生成的位置信息与表示生成所述位置信息的时期的生成时期信号作为与测定所述加工对象物时的所述测定部的位置相关的信息;

推定部,基于所述获取部获取所述生成时期信号的时期,来推定生成所述位置信息的时期;以及

形状算出部,基于所述测定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的时期,来算出所述加工对象物的形状。

6.一种形状测定探针,能够安装于机床,且所述形状测定探针包括:

拍摄部,通过对所述机床的加工对象物进行拍摄来生成所述加工对象物的测定信息;

获取部,获取表示生成所述机床所生成的位置信息的时期的生成时期信号作为与测定所述加工对象物时的所述形状测定探针的位置相关的信息;

推定部,基于所述获取部获取所述生成时期信号的时期,来推定生成所述位置信息的时期;以及

输出部,对形状算出装置输出所述测定信息和与所述推定部所推定的时期相关的信息,所述形状算出装置基于所述测定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的时期,来算出所述加工对象物的形状。

7.一种形状算出装置,包括:

测定信息获取部,获取能够安装于机床的测定部所生成的用以算出所述机床的加工对象物的形状的测定信息;

位置信息获取部,获取所述机床所生成的位置信息作为与测定所述加工对象物时的所述测定部的位置相关的信息;

信号获取部,获取表示生成所述位置信息的时期的生成时期信号;

推定部,基于所述信号获取部获取所述生成时期信号的时期,来推定生成所述位置信息获取部所获取的所述位置信息的时期;以及

形状算出部,基于所述测定信息、所述位置信息及所述推定部所推定的时期,来算出所述加工对象物的形状。

8.一种形状测定方法,包括:

获取能够安装于机床的测定部所生成的用以算出所述机床的加工对象物的形状的测定信息;

获取所述机床所生成的位置信息作为与测定所述加工对象物时的所述测定部的位置相关的信息;

获取所述机床所生成的生成时期信号作为表示生成所述位置信息的时期的信号;

基于获取所述生成时期信号的时期,来推定由所述机床生成所述位置信息的时期;以及

基于所述测定信息、所述位置信息及所推定的所述时期,来算出所述加工对象物的形状。

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