[发明专利]光波导调制器及光收发装置

权利要求书

1.一种光波导调制器，其特征在于，包括：

基板；

位于所述基板第一表面的光波导，所述光波导包括光波导本体以及位于所述光波导本体侧壁上并向两侧延伸的多个凸起单元；所述凸起单元用于降低光信号在所述光波导中的传输速度；

位于所述光波导背离所述基板一侧的石墨烯层，所述石墨烯层至少覆盖所述光波导；

其中，位于所述光波导本体侧壁上的多个所述凸起单元沿第一预设方向排布，所述第一预设方向平行于所述光波导中光信号的传输方向。

2.根据权利要求1所述的光波导调制器，其特征在于，所述凸起单元包括位于所述光波导本体第一侧壁上的第一凸起结构和位于所述光波导本体第二侧壁上的第二凸起结构，其中，所述第一侧壁和所述第二侧壁相对，所述第一凸起结构和所述第二凸起结构相对；所述光波导本体包括对应所述凸起单元所在区域的第一本体以及位于相邻所述凸起单元之间的第二本体。

3.根据权利要求2所述的光波导调制器，其特征在于，不同所述凸起单元在第二预设方向上的宽度相同，任意两个相邻所述凸起单元之间的第二本体在所述第二预设方向上的宽度相同；

其中，所述第二预设方向平行于所述第一表面，且垂直于所述第一预设方向。

4.根据权利要求3所述的光波导调制器，其特征在于，各所述第一本体在所述第二预设方向上的宽度相同。

5.根据权利要求2-4任一项所述的光波导调制器，其特征在于，各所述第一本体沿所述第一预设方向的长度相同，各所述第二本体沿所述第一预设方向的长度相同。

6.根据权利要求1所述的光波导调制器，其特征在于，在垂直于所述基板第一表面方向上，各所述凸起单元的厚度相同。

7.根据权利要求6所述的光波导调制器，其特征在于，所述石墨烯层仅覆盖所述光波导。

8.根据权利要求6所述的光波导调制器，其特征在于，所述石墨烯层同时覆盖所述光波导和所述基板的第一表面。

9.根据权利要求1所述的光波导调制器，其特征在于，还包括：

覆盖所述基板第一表面曝露区域和所述光波导的间隔层。

10.根据权利要求1所述的光波导调制器，其特征在于，还包括：

仅覆盖所述基板第一表面曝露区域的间隔层，在所述光波导背离所述基板一侧，所述光波导的表面与所述间隔层的表面平齐。

11.根据权利要求9或10所述的光波导调制器，其特征在于，所述间隔层为氧化铝层或熔融石英层。

12.根据权利要求2所述的光波导调制器，其特征在于，所述第一凸起结构和所述第二凸起结构在所述第一表面的正投影的形状相同，所述第一凸起结构在所述第一表面的正投影的形状为长方形、三角形、半圆形或半椭圆形。

13.根据权利要求1所述的光波导调制器，其特征在于，所述光波导的材料为硅、氮化硅、磷化铟、熔融石英或有机材料。

14.一种光收发装置，其特征在于，包括激光器和光波导调制器，其中，所述光波导调制器为权利要求1-13任一项所述的光波导调制器，用于对所述激光器产生的光信号进行调制。