[发明专利]探针卡用薄膜电阻器

权利要求书

1.一种探针卡用薄膜电阻器，与布线带缆连接并提供电阻，所述布线带缆形成于在探针销与印制电路板之间传递信号的空间转换器，并对信号进行接口，

所述薄膜电阻器包括：

一对电极焊盘，与布线带缆连接；

电阻线，与所述一对电极焊盘连接而向信号路径提供电阻；

弹性部，由所述电阻线迂回而形成；

弹性空隙部，被所述弹性部内包而形成；以及

弹性限制部，横穿所述弹性空隙部而一端及另一端与所述弹性部连接，从而限制所述弹性部的膨胀及收缩。

2.根据权利要求1所述的探针卡用薄膜电阻器，其特征在于，

所述弹性限制部以比所述弹性部的宽度薄的宽度形成。

3.根据权利要求1所述的探针卡用薄膜电阻器，其特征在于，

所述弹性限制部形成为在不超过所述弹性空隙部的深度的一半的范围内横穿弹性空隙部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的探针卡用薄膜电阻器，其特征在于，

所述弹性限制部形成有两个以上。

5.根据权利要求4所述的探针卡用薄膜电阻器，其特征在于，

所述弹性限制部交叉而呈X字形状形成。

6.一种探针卡用薄膜电阻器，与布线带缆连接并提供电阻，所述布线带缆形成于在探针销与印制电路板之间传递信号的空间转换器，并对信号进行接口，

所述薄膜电阻器包括：

一对电极焊盘，与布线带缆连接；

电阻线，与所述一对电极焊盘连接而向信号路径提供电阻；

弹性部，由所述电阻线分支并均迂回而形成；以及

弹性空隙部，是被所述弹性部内包而形成的空间。

7.根据权利要求6所述的探针卡用薄膜电阻器，其特征在于，

所述弹性空隙部的外形以与所述弹性部的外形对应的形状形成。

8.根据权利要求7所述的探针卡用薄膜电阻器，其特征在于，

所述弹性空隙部及所述弹性部的外形以四边形状或圆形状形成。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的探针卡用薄膜电阻器，其特征在于，

所述探针卡用薄膜电阻器还包括弹性限制部，所述弹性限制部横穿所述弹性空隙部而一端及另一端与所述弹性部连接，从而限制所述弹性部的膨胀及收缩。

10.一种探针卡用薄膜电阻器，与布线带缆连接并提供电阻，所述布线带缆形成于在探针销与印制电路板之间传递信号的空间转换器，并对信号进行接口，

所述薄膜电阻器包括：

一对电极焊盘，与布线带缆连接；

电阻线，与所述一对电极焊盘连接而向信号路径提供电阻；

弹性部，由所述电阻线迂回而形成；

弹性空隙部，是被所述弹性部内包而形成的空间；以及

弹性槽，在弹性部的与所述弹性空隙部相接触的角部形成为当弹性部膨胀时开缝的缝隙形状。

11.根据权利要求10所述的探针卡用薄膜电阻器，其特征在于，

在所述弹性槽的另一端形成圆形的孔。

12.一种探针卡用薄膜电阻器，与布线带缆连接并提供电阻，所述布线带缆形成于在探针销与印制电路板之间传递信号的空间转换器，并对信号进行接口，

所述薄膜电阻器包括：

一对电极焊盘，与布线带缆连接；

电阻线，与所述一对电极焊盘连接而向信号路径提供电阻；

弹性部，由所述电阻线迂回而形成；

弹性空隙部，被所述弹性部内包而形成；以及

弹性限制部，迂回所述弹性空隙部而一端及另一端与所述弹性部连接，从而限制所述弹性部的膨胀及收缩。