[发明专利]探针卡用薄膜电阻器

说明书

本发明涉及一种探针卡用薄膜电阻器，更详细地涉及一种防止薄膜电阻器重复热量引起的膨胀及收缩时产生裂纹的探针卡用薄膜电阻器。为此，本发明的薄膜电阻器与布线带缆连接并提供电阻，所述布线带缆形成于在探针销与印制电路板之间传递信号的空间转换器，并对信号进行接口，所述薄膜电阻器包括：一对电极焊盘，与布线带缆连接；电阻线，与所述一对电极焊盘连接而向信号路径提供电阻；弹性部，由所述电阻线迂回而形成；弹性空隙部，被所述弹性部内包而形成；以及弹性限制部，横穿所述弹性空隙部而一端及另一端与所述弹性部连接，从而限制所述弹性部的膨胀及收缩。

技术领域

本发明涉及一种探针卡用薄膜电阻器，更详细地涉及一种防止薄膜电阻器重复热量引起的膨胀及收缩时产生裂纹的探针卡用薄膜电阻器。

在此，薄膜电阻器是指通过在基板上蒸镀金属等方法制造成薄膜的电阻器。

背景技术

一般而言，在用于制造半导体的封装体(package)之前阶段即晶圆阶段中，为了检查晶圆有无异常，使用探针卡。

这种探针卡包括：接触于晶圆而接收信号传递的探针销；从探针销接收信号传递并向测试器(tester)传递信号的PCB(Printed Circuit Board，印制电路板)；以及在探针销与PCB之间传递号的空间转换器(space transformer)。

这种空间转换器由多个层构成，包括在探针销与PCB之间对信号进行接口(interfacing)的布线带缆。

布线带缆具有连接于PCB的布线带缆分支成两个以上并分别连接于探针销的结构。

此时，若在与分支的探针销连接的布线带缆中的任一个中产生异常，则由于剩余正常的分支的布线带缆也被判断为产生异常，为了解决其，在分支的布线带缆中设置有提供电阻的薄膜电阻器。

但是，薄膜电阻器存在如下问题：空间转换器当进行晶圆检查时在经历热测试时重复热量引起的膨胀及收缩，如图1a及图1b所示，在电阻线200产生裂纹。

关于这种问题，最近，随着用于大面积晶圆检查的探针销的数量增加的趋势，薄膜电阻器的数量也在增加，空间转换器替代多个陶瓷层而构成以陶瓷为基底的多个聚酰亚胺层，在该趋势下，存在设置在热膨胀系数比陶瓷高的聚酰亚胺层上的薄膜电阻器以更大幅度重复膨胀及收缩而裂纹产生频率增加的问题。

现有技术文献

专利文献0001：韩国授权专利第10-0978233号

专利文献0002：韩国授权专利第10-1545815号

专利文献0003：韩国公开专利第10-2010-0062041号

发明内容

因此，如上所述的现有技术存在如前所述的问题，本发明的目的在于解决这种问题。

因此，本发明的目的在于提供一种防止探针卡用薄膜电阻器重复热量引起的膨胀及收缩时产生裂纹的探针卡用薄膜电阻器。

本发明的目的并不限于以上提及的目的，未提及的本发明的其它目的及优点可以通过以下说明得到理解，通过本发明的实施例会得到更清楚的知晓。另外，能够容易地知晓本发明的目的及优点可以通过权利要求书中给出的手段及其组合实现。

用于达到上述目的本发明的实施例的探针卡用薄膜电阻器与布线带缆连接并提供电阻，所述布线带缆形成于在探针销与印制电路板之间传递信号的空间转换器，并对信号进行接口，所述薄膜电阻器包括：一对电极焊盘，与布线带缆连接；电阻线，与所述一对电极焊盘连接而向信号路径提供电阻；弹性部，由所述电阻线迂回而形成；弹性空隙部，被所述弹性部内包而形成；以及弹性限制部，横穿所述弹性空隙部而一端及另一端与所述弹性部连接，从而限制所述弹性部的膨胀及收缩。

所述弹性限制部以比所述弹性部的宽度薄的宽度形成。