[发明专利]对多个电声器件进行测试的装置和方法

说明书

声学测试装置可以包括用于多个被测器件(DUT)的连接，以支持同时测试两个或更多个微型电声器件。声学测试装置可以允许以小于每个DUT一个参照麦克风的比率对多个DUT进行测试。因此，可以在无需通过额外的参照麦克风而增加大量成本的情况下加快测试DUT的速度。例如，单个参照麦克风可以用于测试通过声学测试腔耦合在一起的两个或四个DUT。

技术领域

本公开涉及微型麦克风。具体而言，本公开的各部分涉及微型麦克风的测试和制造。

背景技术

微型麦克风，例如微机电系统(MEMS)麦克风，需要在销售之前或者在集成到电子设备中之前经过测试。为了确认特定微型麦克风是否在期望的技术要求内运行，微型麦克风被用来测量在受控环境中产生的声音。使用高精度参照麦克风测量相同条件下产生的声音，并比较两个结果以确定特定微型麦克风的运行能力。这种测试过程例如可用于确定在制造过程中特定微型麦克风何时损坏或者制造过程何时失败。图1A和图1B示出了一种用于测试微型麦克风的示例性装置。

图1A和图1B分别是示出了根据现有技术的用于麦克风的声学测试装置的俯视图和横截面图。测试装置100包括声学体积部110，其将源120与参照麦克风118和被测器件(DUT)112声学地耦合。DUT 112可以通过机械和/或声学连接到DUT承座114以及通过接口印刷电路板(PCB)116的电连而与测试装置100连接。源120可以被启动以在声学体积部110中产生声场，该声场可以由参照麦克风118和DUT 112测量。为了测试多个器件，可以将DUT112从DUT承座114上移走并替换为另一个DUT。

由于每次仅能将一个DUT 112耦合到声学体积部110，因此测试装置100测试DUT的处理量受到限制。因此，增加测试DUT的处理量需要多个测试装置。部分由于参照麦克风118的尺寸较大，测试装置占用制造设施中的空间。另外，参照麦克风118是昂贵的工具，使得增加测试装置的数量以提高测试处理量是昂贵的解决方案。

本文提到的缺点仅是代表性的，并且被包括仅是为了突出表明对测试装置的需要，包括在消费者级别的设备(例如移动电话)中使用的微型麦克风。本文描述的实施例解决了某些缺点，但是未必一定是本文描述的或本领域已知的每个。另外，除解决上述缺点之外，本文描述的实施例还可以具有其它优点，并且可以用于其它应用。

发明内容

声学测试装置可以包括用于多个被测器件(DUT)的连接，以支持同时测试两个或更多个微型电声器件。“微型电声器件”或“微型麦克风”是指包括MEMS的麦克风以及在一维上小于约六毫米的小型电麦克风。声学测试装置可以允许以小于每个DUT一个参照麦克风的比率测试多个DUT。因此，可以在无需通过额外的参照麦克风而增加大量成本或尺寸的情况下加快测试DUT的速度。例如，单个参照麦克风可以用于测试通过声学测试腔耦合在一起的两个或四个DUT。可以将一个或多个声源耦合到声学测试腔以产生测试声场。随着DUT的数量增加并且因而声学测试腔的尺寸增加，两个或更多个声源可以用于在声学测试腔内获得期望的声压级(SPL)。

电子设备可以电耦合到DUT、声源和参照麦克风，以对附接到测试装置的DUT执行同时测试。例如，个人计算机(PC)或其它可编程逻辑控制器(PLC)可以启动具有特定期望输出的声源，并且同时记录来自DUT和参照麦克风的输出。控制器可以通过接口印刷电路板(PCB)电耦合到各部件，该接口印刷电路板形成围绕声学测试腔的外壳的一部分。在一些实施例中，声源的期望输出可以是一系列不同频率和不同强度的声音。PC可以将来自DUT的记录输出与来自参照麦克风的记录输出进行比较，以确定指示DUT的记录输出与参照麦克风的记录输出之间的差异的误差值。当误差值在参照麦克风输出附近的预定阈值量之内时，可以确定DUT在技术要求范围内。