[发明专利]凹版的制造方法及凹版制造装置有效
| 申请号： | 201780086452.8 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110300930B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 村元秀次;川越理史;增尾纯一 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 凹版 制造 方法 装置 | ||
1.一种凹版的制造方法，其是具有平坦部及在上述平坦部形成开口的多个凹部的凹版的制造方法，其中，具备：
第1步骤，使由光硬化性材料形成的感光层中的成为上述平坦部的区域以第1曝光量进行曝光而硬化，该第1曝光量是为了将上述凹部中的开口尺寸为最小的第1尺寸的凹部设为目标深度所需的曝光量；及
第2步骤，不使上述感光层中的成为具有上述第1尺寸的上述凹部的第1区域曝光，而使上述感光层中的成为开口尺寸为比上述第1尺寸大的第2尺寸的上述凹部的第2区域以第2曝光量进行曝光，上述第2曝光量比为了使未曝光的上述感光层硬化所需的曝光量小。
2.如权利要求1所述的凹版的制造方法，其中，
在上述第2步骤中，对上述第2区域照射光。
3.如权利要求1所述的凹版的制造方法，其中，
在上述第2步骤中，对上述第2区域的周围区域照射光。
4.如权利要求3所述的凹版的制造方法，其中，
在上述第2步骤中，对上述第2区域及上述周围区域照射光。
5.如权利要求3所述的凹版的制造方法，其中，
在上述第2步骤中，不对上述第2区域照射光而对上述周围区域照射光。
6.如权利要求1至5中任一项所述的凹版的制造方法，其中，
上述第2曝光量是为了将上述第2尺寸的上述凹部设为对应于该凹部而设定的目标深度所需的曝光量。
7.如权利要求1至5中任一项所述的凹版的制造方法，其中，
对上述多个凹部中的开口尺寸彼此相同的凹部一次性执行上述第2步骤。
8.如权利要求1至5中任一项所述的凹版的制造方法，其中，
具备第3步骤，在上述第1步骤及上述第2步骤之后，将上述感光层中的除因曝光而硬化的部位以外的未硬化部位去除。
9.一种凹版的制造方法，其是具有平坦部及在上述平坦部形成开口的多个凹部的凹版的制造方法，其中，具备：
第1步骤，使由光硬化性材料形成的感光层中的成为上述平坦部的区域以第1曝光量进行曝光而硬化，该第1曝光量是为了将上述凹部中的开口尺寸为最小的第1尺寸的凹部设为目标深度所需的曝光量；及
第2步骤，不使上述感光层中的成为具有上述第1尺寸的上述凹部的第1区域曝光，而使上述感光层中的成为开口尺寸为比上述第1尺寸大的第2尺寸的上述凹部的第2区域以第2曝光量进行曝光，
在上述第2步骤中，不对上述第2区域照射光而对上述第2区域的周围区域照射光。
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