[发明专利]用于检查部件的组件和方法在审
申请号: | 201780081568.2 | 申请日: | 2017-02-02 |
公开(公告)号: | CN110100175A | 公开(公告)日: | 2019-08-06 |
发明(设计)人: | J.帕拉特;P.阿布瑞尔;T.艾默 | 申请(专利权)人: | 伊斯梅卡半导体控股公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;H05K13/08 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 吴超;谭祐祥 |
地址: | 瑞士拉*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 相机 可移动载物台 第一侧部 线性轴线 移动 焦点 检查部件 旋转轴线 处理器 垂直 图像 部件移动 使用组件 预定取向 组件包括 载物台 载物 捕获 | ||
根据本发明,提供了一种使用组件来检查部件(10)的方法,该组件包括:相机(3),其具有固定位置;以及可移动载物台(5),其中,该可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线(7)旋转并且可以沿两条线性轴线(9a、9b)线性地移动,其中,所述两条线性轴线彼此垂直,并且其中,所述两条线性轴线两者各自垂直于旋转轴线,该方法包括以下步骤:(a)在载物台上提供呈预定取向的第一部件,使得部件的第一侧部面向相机;(b)使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动,以便将第一部件的第一侧部移动到相机的焦点上;(c)在第一部件的第一侧部已被移动到相机的焦点上之后,捕获第一侧部的图像。还提供了根据上文的组件,其附加地包括处理器,该处理器被构造成确定部件的图像是否在相机的焦点上,如果不在相机的焦点上,就确定可移动载物台的移动并启动可移动载物台以经历所确定的所述移动以便将所述部件移动到焦点上。
技术领域
本发明涉及用于检查部件的组件和方法,并且特别地涉及用于检查部件的微裂纹和其他污染物的组件和方法,其中可移动载物台移动到(一个或多个)预定位置以将该部件的不同侧部移动到相机的焦点上。
背景技术
在用于检查部件的现有组件和方法中,部件被放置到预定位置中以位于相机的视野内;然后,相机聚焦在部件上并捕获部件的图像。然后,检查图像以识别在部件中是否存在任何裂纹或污染物。当检查多个部件时,针对所述多个部件中的每一个重复这些前述步骤,因此对每个部件而言,相机被聚焦以使部件在相机的焦点上。不利地,这使用于检查部件的现有组件和方法变慢。
本发明的目的是消除或减轻至少一些上述缺点。
发明内容
根据本发明,提供了一种使用组件来检查部件的方法,该组件包括:相机,其具有固定位置;以及可移动载物台,其中,该可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线旋转并且可以沿两条线性轴线线性地移动,其中,所述两条线性轴线彼此垂直,并且其中,所述两条线性轴线两者各自垂直于旋转轴线,该方法包括以下步骤:在载物台上提供呈预定取向的第一部件,使得该部件的第一侧部面向相机;使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动,以便将第一部件的第一侧部移动到相机的焦点上;在第一部件的第一侧部已被移动到相机的焦点上之后,捕获第一侧部的图像。
该方法可包括以下步骤:在将载物台维持在与捕获第一侧部的图像时相同的沿线性轴线的位置中时,使载物台围绕所述旋转轴线旋转,使得第一部件的第二侧部面向相机;在第一部件的第二侧部已被移动到相机的焦点上之后,捕获第二侧部的图像。
该方法可包括以下步骤:在将载物台维持在与捕获第一侧部的图像时相同的沿线性轴线的位置中的同时,从载物台移除第一部件;在载物台上提供呈预定取向的具有与第一部件相同的尺寸的第二部件,使得第二部件的第一侧部面向相机;使用相机捕获第二部件的第一侧部的图像;使载物台围绕所述旋转轴线旋转,使得第二部件的第二侧部面向相机;使用相机捕获第二部件的第二侧部的图像。
在实施例中,所述第一部件是立方形部件。
该方法可包括以下步骤:当第一部件的第一侧部在相机的焦点上时,将指示载物台沿所述两条线性轴线的位置的第一位置数据存储在存储器中;使载物台围绕所述旋转轴线旋转,使得第一部件的第二侧部面向相机;使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动,以便将第一部件的第二侧部移动到相机的焦点上;当第一部件的第二侧部在相机的焦点上时,将指示载物台沿所述两条线性轴线的位置的第二位置数据存储在存储器中;在第一部件的第二侧部已被移动到相机的焦点上之后,捕获第二侧部的图像。
该方法可包括以下步骤:
使载物台围绕所述旋转轴线旋转,使得第一部件的第三侧部面向相机;
从存储器检索第一位置数据,并使载物台移动到对应于在所检索的第一位置数据中指示的位置的位置,以便将第一部件的第三侧部移动到焦点上;
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