[发明专利]取向电工钢板及其磁畴细化方法

权利要求书

1.一种取向电工钢板的磁畴细化方法，其包含：

准备取向电工钢板的步骤；

在所述取向电工钢板的表面上形成掩膜层的步骤；

向部分所述掩膜层照射激光束以去除掩膜层形成预制沟槽于所述取向电工钢板上的步骤；

对所述取向电工钢板进行酸洗以形成沟槽的步骤；以及

形成绝缘膜层于所述掩膜层和所述沟槽上面的步骤，

所述沟槽部分的表面粗糙度为0.1μm至0.7μm；

所述掩膜层包含铝、镁、锰或它们的氧化物。

2.根据权利要求1所述的取向电工钢板的磁畴细化方法，其中，

所述掩膜层的厚度为1μm至10μm。

3.根据权利要求1所述的取向电工钢板的磁畴细化方法，其中，

所述激光束的输出为1kW至3kW，照射速度为70m/s至100m/s。

4.根据权利要求1所述的取向电工钢板的磁畴细化方法，其中，

所述激光束的焦点位置和取向电工钢板的表面之差小于等于200μm。

5.根据权利要求1所述的取向电工钢板的磁畴细化方法，其中，

所述预制沟槽的深度为5μm至10μm。

6.根据权利要求1所述的取向电工钢板的磁畴细化方法，其中，

在所述形成沟槽的步骤中，部分隆起被去除。

7.根据权利要求1所述的取向电工钢板的磁畴细化方法，其中，

在所述形成沟槽的步骤中，酸洗液的酸浓度为30体积％至50体积％，温度为50℃至90℃。

8.根据权利要求1所述的取向电工钢板的磁畴细化方法，其中，

在所述形成沟槽的步骤中，沟槽的深度为15μm至30μm。

9.一种取向电工钢板，其包含：

沟槽，其从电工钢板的表面向电工钢板的内部方向形成；

掩膜层，其形成在所述电工钢板的表面上；以及

绝缘膜层，其形成在所述掩膜层和所述沟槽上，

所述沟槽部分的表面粗糙度为0.1μm至0.7μm，

所述掩膜层包含铝、镁、锰或它们的氧化物。

10.根据权利要求9所述的取向电工钢板，其中，

所述沟槽在沟槽深度1/2处的沟槽宽度W_b与在所述电工钢板表面的沟槽上宽W_a之比W_b/W_a为0.3至0.8。

11.根据权利要求9所述的取向电工钢板，其中，

所述沟槽的深度为15μm至30μm。