[发明专利]接触端子、检查夹具和检查装置

说明书

本发明提供一种容易适当地制造的接触端子、检查夹具和检查装置。包含探针的接触端子具备：筒状体，由具有导电性的材料形成为筒状；中心导体，由具有导电性的材料形成为棒状，该中心导体具有插通至筒状体的棒状本体，筒状体具有：包含螺旋状体的弹簧部，所述螺旋状体是通过沿着所述筒状体的周面设置螺旋槽而构成；以及抱持部，外嵌于棒状本体的底端部而抱持所述棒状本体，该抱持部包含通过狭缝在筒状体的周方向上将一部分分断而成的筒状体的周壁，所述狭缝从构成弹簧部的螺旋槽的端部沿筒状体的轴方向延伸。

本申请是以2016年11月30日提出申请的日本专利申请特愿2016-232912为基础者，所述内容包含于本申请中。

技术领域

本发明涉及一种用于检查对象的检查的接触端子、用于使其接触端子接触至检查对象的检查夹具、及具备其检查夹具的检查装置。

背景技术

以往，已知有一种在中间位置形成有弹簧部的筒状体(圆筒构件)中插通有圆柱状中心导体(棒状构件)的检查装置用接触端子、及使用其接触端子的检查夹具(例如参照专利文献1)。其接触端子是在使中心导体的端部从筒状体突出的状态下，将中心导体通过熔接或铆接加工等而固接于筒状体的前端附近。当成为筒状体的一端部接触至电极部，中心导体的另一端部抵接于检查对象的状态时，对应于弹簧部的弹性复原力，筒状体的一端部被施力至电极部，并且中心导体的另一端部被施力至检查对象，由此，接触端子相对于电极部及检查对象的接触状态得以稳定化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2013-53931号公报

发明内容

然而，所述检查夹具中，设置有多个极细直径的接触端子，且构成为，构成其接触端子的中心导体(小径的导电部)通过熔接或铆接加工等而固接于具有弹簧部的筒状体(大径的圆筒形状部)。然而，由于其固接作业极为繁琐，因此难以适当地制造接触端子。而且，存在难以将接触端子相对于电极及检查对象的接触压力设定为适当值的问题。

本发明的目的在于提供一种容易适当地制造，并且容易将接触端子相对于电极及检查对象的接触压力设定为适当值的接触端子、检查夹具和检查装置。

依据本发明的一实施方式的接触端子包括：筒状体，由具有导电性的材料形成为筒状；以及中心导体，由具有导电性的材料形成为棒状，所述中心导体具有插通至所述筒状体的棒状本体，所述筒状体具有：包含螺旋状体的弹簧部，所述螺旋状体是通过沿着所述筒状体的周面设置螺旋槽而构成；以及抱持部，外嵌于所述棒状本体的底端部而抱持所述棒状本体，所述抱持部包含通过从构成所述弹簧部的所述螺旋槽的端部沿所述筒状体的轴方向延伸的狭缝而在所述筒状体的周方向上将一部分分断而成的周壁。

而且，依据本发明的一实施方式的接触端子包括：筒状体，由具有导电性的材料形成为筒状；以及中心导体，由具有导电性的材料形成为棒状，所述中心导体包括：第一中心导体，具有插入至所述筒状体的一端部侧的第一棒状本体；以及第二中心导体，具有插入至所述筒状体的另一端部侧的第二棒状本体，所述筒状体包括：第一抱持部，在所述筒状体的一端部侧抱持所述第一棒状本体的底端部；第二抱持部，在筒状体的另一端部侧抱持所述第二棒状本体的底端部；第一弹簧部，连设于所述第一抱持部；第二弹簧部，连设于所述第二抱持部；以及筒状的连结部，将所述第一弹簧部、所述第二弹簧部彼此连结，所述第一中心导体、所述第二中心导体将所述第一棒状本体的前端部、所述第二棒状本体的前端部分别插入至所述筒状体的连结部内，并且以所述第一棒状本体的前端面与所述第二棒状本体的前端面维持为隔开间隙而相对向的状态的方式，设定所述第一棒状本体、所述第二棒状本体的全长。

而且，依据本发明的一实施方式的检查夹具具备所述的接触端子与支持所述接触端子的支持构件。