[发明专利]工具内ESD事件选择性监测方法和装置

权利要求书

1.一种用于检测静电放电ESD事件的装置，所述装置包括：

ESD检测器，所述ESD检测器包括衰减器，所述ESD检测器被配置为检测ESD事件；

控制器，所述控制器被配置为：

响应于与处理正被工具操作或测试的设备的指令对应的信号，激活处理窗口；

激活所述ESD检测器以检测和报告在所述处理窗口期间发生的所述ESD事件；以及

响应于对应于结束所述处理的指令的信号，停用所述处理窗口并控制所述ESD检测器进入待机模式，以忽略电磁信号；以及至少一个天线，所述至少一个天线耦接到所述ESD检测器；

其中所述ESD检测器针对至少一种放电能量阈值或放电能量的范围通过以下方式来校准：调节所述衰减器以抑制在所述处理窗口期间检测到的在所述至少一种放电能量阈值或所述放电能量的所述范围之外的电磁干扰（EMI）。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述ESD检测器被配置为测量接收到的脉冲的脉冲持续时间，以便确定所述接收到的脉冲是否是ESD事件。

3.如权利要求1所述的装置，其中所述ESD检测器被配置为抑制小于第一脉冲持续时间或大于第二脉冲持续时间的接收到的脉冲。

4.如权利要求1所述的装置，其中所述ESD检测器被配置为抑制在某一频率范围之外的接收到的脉冲。

5.如权利要求1所述的装置，其中所述ESD检测器被配置为基于接收到的脉冲的功率、持续时间和幅度来对所述接收到的脉冲进行滤波。

6.如权利要求1所述的装置，进一步包括：

充电设备模型事件模拟器（CDMES）单元，所述充电设备模型事件模拟器（CDMES）单元包括第一导电部分和第二导电部分；

其中所述第一导电部分和所述第二导电部分在电位方面不同；并且

其中输入高电压为所述第一导电部分提供电荷；

其中所述第一导电部分能够朝向所述第二导电部分移动；并且

其中，在所述第一导电部分朝向所述第二导电部分移动时，触发CDM事件。

7.如权利要求1所述的装置，其中所述至少一个天线包括允许定向检测ESD辐射能量并抑制不感兴趣的其他事件的特性。

8.如权利要求1所述的装置，其中所述ESD事件发生在工具处理区域中。

9.如权利要求8所述的装置，其中：

所述工具处理区域包括第一处理区域和第二处理区域；

所述至少一个天线包括耦接到所述ESD检测器的第一天线和耦接到所述ESD检测器的第二天线；并且

所述第一天线设置在所述第一处理区域中，并且所述第二天线设置在所述第二处理区域中。

10.一种用于检测静电放电ESD事件的方法，所述方法包括：

针对至少一种放电能量阈值来校准所述ESD检测器；

响应于对应于处理正被工具操作或测试的设备的指令的信号，通过控制器激活处理窗口；

激活所述ESD检测器以检测和报告在所述处理窗口期间发生的所述ESD事件；

在所述处理窗口期间，通过所述ESD检测器检测ESD事件；

经由所述ESD检测器的信噪比滤波器来调整信噪比，以抑制在所述处理窗口期间检测到的在所述至少一种放电能量阈值之外的电磁干扰（EMI）；以及

通过所述控制器停用所述处理窗口，并且至少部分地基于经调整的所述信噪比来控制所述ESD检测器忽略电磁信号。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述ESD检测器被配置为测量接收到的脉冲的脉冲持续时间，以便确定所述接收到的脉冲是否是ESD事件。

12.如权利要求10所述的方法，其中所述ESD检测器被配置为抑制小于第一脉冲持续时间或大于第二脉冲持续时间的接收到的脉冲。