[发明专利]用于处理构件的设备以及用于运行这种设备的方法

说明书

本发明涉及一种用于处理构件的设备，其具有：移动车，移动车具有框架、转向架、第一平移永磁体装置、旋转永磁体装置和车侧纵向引导机构，框架限定平移轴线，移动车可沿平移轴线平移运动，转向架相对可转动地与框架连接并且构件可安置在转向架处；固定式移动车引导装置，其具有引导装置侧纵向引导机构；具有电磁体的第一平移电磁体装置，该电磁体与第一平移永磁体装置的永磁体磁性共同作用；具有电磁体的第一旋转电磁体装置，该电磁体与旋转永磁体装置的永磁体磁性共同作用；和控制装置，其与第一平移电磁体装置和第一旋转电磁体装置连接以激励电磁体，以便控制移动车的平移运动和以便控制转向架的旋转运动。

技术领域

本发明涉及用于处理(例如用于覆层和/或脱层)构件的设备、用于这种设备的移动车以及用于操作这种设备的方法。

背景技术

总体而言，用于对构件覆层和/或脱层的、通常用于处理构件的常规设备用于：将具有期望厚度的一个或多个材料层施加到构件上和/或从其剥离。通常，这种常规设备具有多个室/站，构件被运输到所述室/站中或被运输经过所述室/站，以便在此经受特定的加工过程。例如，构件被从大气侧的环境运输到工艺室中，在所述工艺室中存在真空并且在所述工艺室中随后执行所需要的加工过程，例如以执行对构件覆层或将材料从构件剥离。在加工过程结束之后，构件被运出工艺室。

就以所需要的方式将构件运输到室和站中和/或以所需要的方式在室和站之内对构件进行运输而言，存在不同的常规方案。在常规技术中例如使用移动装置，构件被安置到该移动装置，并且(例如在牵引链中引导的)导线连接到该移动装置用于为该移动装置供应能量以驱动该移动装置，所述导线在室/站之内(尤其也在具有真空的工艺室之内)伸展。

然而，在导线在工艺室之内伸展的情况下，会出现在真空下气体析出，并且由此会造成对真空的外来材料污染和/或颗粒污染，进而造成真空质量(例如借助于设备的特定配置而可达到的最小压力)变差以及构件加工结果变差。

此外，尤其在不同压力水平的区域中过渡时(例如在从大气侧到真空侧的过渡时)，连接到常规移动装置的导线是妨碍性的，并且通常必须设置附加的、可脱开的端子和导线，以便从大气侧起将能量输送给真空侧上的驱动系统，这导致设备的结构更复杂，并且由此，制造和安装常规设备的成本高且工作量大。

此外，通常也在设备的不同部段(例如在大气侧、真空侧等)使用不同的驱动系统，这使常规设备的模块化构造方式变得困难，并且还导致制造和安装常规设备的成本高且工作量大。

发明内容

本发明提供了一种用于处理构件的设备、用于这种设备的移动车和用于运行这种设备的方法，其减少或甚至完全避免了至少一些上述缺点。

本发明提供一种用于处理(例如覆层和/或脱层)构件的设备，其具有：移动车，所述移动车具有框架、转向架、第一平移永磁体装置、旋转永磁体装置和车侧纵向引导机构，所述框架沿着纵向方向限定平移轴线，移动车可沿着平移轴线向前和向后平移地运动，所述转向架相对于框架围绕旋转轴线可转动地与框架连接并且构件可安置在转向架处，所述第一平移永磁体装置安置在框架处并且具有沿着纵向方向设置的永磁体，所述旋转永磁体装置安置在转向架处，限定围绕旋转轴线延伸的环周方向并且具有沿着环周方向设置的永磁体，所述车侧纵向引导机构安置在框架处；固定式移动车引导装置，所述固定式移动车引导装置具有与车侧纵向引导机构互补的引导装置侧纵向引导机构，借助所述引导装置侧纵向引导机构平移地引导移动车；第一平移电磁体装置，所述第一平移电磁体装置安置在移动车引导装置处并且具有沿着纵向方向设置的电磁体，所述电磁体与第一平移永磁体装置的永磁体磁性共同作用；第一旋转电磁体装置，所述旋转电磁体装置安置在移动车引导装置处并且具有沿着纵向方向设置的电磁体，所述电磁体与旋转永磁体装置的永磁体磁性共同作用；和控制装置，所述控制装置与第一平移电磁体装置和第一旋转电磁体装置连接以激励电磁体(例如以对电磁体供电)，以便借助第一平移电磁体装置的电磁体与第一平移永磁体装置的永磁体的磁性共同作用控制移动车沿着平移轴线的平移运动，并且以便借助于第一旋转电磁体装置的电磁体与旋转永磁体装置的永磁体的磁性共同作用控制转向架围绕旋转轴线的旋转运动。