[发明专利]控制晶片平台振动

权利要求书

1.一种用于控制平台振动的方法，包括：

从脉冲光源产生脉冲光束；

将所述脉冲光束朝向被安装到光刻曝光装置的平台的衬底引导；

在所述脉冲光束与所述衬底之间执行扫描操作，其中所述扫描操作包括将所述脉冲光束投射到所述衬底的每个子区域上并且使所述脉冲光束和所述衬底中的一项或多项相对于彼此移动；

针对衬底的每个子区域，确定所述平台的振动的值；

针对所述衬底的每个子区域，确定对所述脉冲光束的带宽的调节量，所述调节量补偿平台振动的变化，以便跨所述衬底将焦点模糊保持在预定值范围内；以及

当所述脉冲光束对衬底进行曝光时，将所述脉冲光束的带宽改变所确定的调节量，从而补偿所述平台振动变化。

2.根据权利要求1所述的方法，其中确定对特定子区域中的带宽的调节量包括：访问查找表以确定保持有效平台振动恒定的带宽的值。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：在将所述脉冲光束朝向所述衬底引导之前创建所述查找表。

4.根据权利要求1所述的方法，其中针对衬底的每个子区域确定所述平台振动的值包括：在已经在所述脉冲光束与所述衬底之间执行扫描操作之后，针对所述衬底的每个子区域确定所述平台振动的值。

5.根据权利要求4所述的方法，其中当所述脉冲光束对衬底进行曝光时将所述脉冲光束的带宽改变所确定的调节量包括：当所述脉冲光束对尚未被所述脉冲光束扫描的衬底进行曝光时将所述脉冲光束的带宽改变所确定的调节量。

6.根据权利要求1所述的方法，其中确定对所述脉冲光束的带宽的调节量在将所述脉冲光束朝向所述衬底引导之前发生。

7.根据权利要求1所述的方法，其中确定对所述脉冲光束的带宽的调节量在将所述脉冲光束朝向所述衬底引导时并且在所述衬底的每个子区域处发生。

8.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述脉冲光束的带宽包括：调节光谱特征选择装置的一个或多个光学部件。

9.根据权利要求8所述的方法，其中调节所述光谱特征选择装置的一个或多个光学部件包括旋转和平移所述光谱特征选择装置的棱镜。

10.根据权利要求1所述的方法，其中将所述焦点模糊保持在所述预定值范围内还将形成在所述衬底中的特征的临界尺寸保持在预定范围内。

11.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述脉冲光束的带宽包括改变所述脉冲光束的脉冲的突发之间的带宽。

12.根据权利要求1所述的方法，还包括：测量朝向所述衬底被引导的所述脉冲光束的带宽，并且如果所测量的带宽在可接受的带宽范围之外，则调节所述脉冲光束的带宽。

13.一种用于控制平台振动的装置，包括：

光源，产生脉冲光束；

光束引导系统，将所述脉冲光束朝向被安装到光刻曝光装置的平台的衬底引导；

扫描系统，被配置为将所述脉冲光束投射到所述衬底的每个子区域上，并且使所述脉冲光束中和所述衬底中的一项或多项相对于彼此移动；

量测装置，被配置为针对所述衬底的每个子区域确定所述平台的振动的值；以及

控制系统，连接到所述光源、所述扫描系统和所述量测装置，并且被配置为；

从所述量测装置接收针对每个子区域的平台振动的所确定的值；

针对每个子区域，确定对所述脉冲光束的带宽的调节量，所述调节量补偿所述平台振动的变化，以便跨所述衬底将焦点模糊保持在预定值范围内；以及

当所述脉冲光束对衬底进行曝光时，向所述光源发送信号以将所述脉冲光束的带宽修改所确定的调节量，从而补偿所述平台振动变化。