[发明专利]流量控制阀和使用该流量控制阀的质量流量控制装置

权利要求书

1.一种流量控制阀，

该流量控制阀具有：

阀座；

阀芯，其沿着与所述阀座的封闭面垂直的方向进行开闭动作；

弹性部件，其对所述阀芯向远离所述封闭面的方向或靠近所述封闭面的方向赋予弹性力；以及

驱动部件，其向与所述弹性部件的弹性力相反的方向驱动所述阀芯，

其中，

所述阀座具有：外筒构件，其具有流体的流出通路，该流体的流出通路包括将内周侧与外周侧连通的一个或两个以上的孔、以及与所述孔连通且形成在外周侧的槽部；以及内筒构件，其配置在所述外筒构件的内周侧，在内周侧具有流体的流入通路，在上端部具有所述封闭面，

所述外筒构件的下部与所述内筒构件的下部气密地嵌合在一起，

所述内筒构件的下部具有朝向外侧延伸的凸缘部，

所述外筒构件的下部与所述凸缘部的外周气密地嵌合在一起。

2.一种流量控制阀，

该流量控制阀具有：

阀座；

阀芯，其沿着与所述阀座的封闭面垂直的方向进行开闭动作；

弹性部件，其对所述阀芯向远离所述封闭面的方向或靠近所述封闭面的方向赋予弹性力；以及

驱动部件，其向与所述弹性部件的弹性力相反的方向驱动所述阀芯，

其中，

所述阀座具有：外筒构件，其具有流体的流出通路，该流体的流出通路包括将内周侧与外周侧连通的一个或两个以上的孔、以及与所述孔连通且形成在外周侧的槽部；以及内筒构件，其配置在所述外筒构件的内周侧，在内周侧具有流体的流入通路，在上端部具有所述封闭面，

所述外筒构件的下部与所述内筒构件的下部气密地嵌合在一起，

所述外筒构件的下部具有朝向内侧延伸的凸缘部，

所述内筒构件的下部与所述凸缘部的内周气密地嵌合在一起。

3.根据权利要求1或2所述的流量控制阀，其中，

所述外筒构件的上端部的位置构成为比所述内筒构件的封闭面的位置高，且两者的高度差大于所述阀芯的厚度。

4.根据权利要求1或2所述的流量控制阀，其中，

该流量控制阀还具有金属制的膜片，该膜片被设为分别与所述外筒构件的上端部和所述阀芯的上表面接触，

所述驱动部件被设为同所述膜片的与所述阀芯的上表面接触的面的相反侧的面接触，所述驱动部件隔着所述膜片地对所述阀芯进行驱动。

5.根据权利要求1或2所述的流量控制阀，其中，

所述阀座的封闭面的算术平均粗糙度为100纳米以下。

6.一种质量流量控制装置，

该质量流量控制装置具有：

流量计，其用于测量流体的流量；

流量控制阀，其用于控制流体的流量；以及

控制回路，其基于来自所述流量计的流量信号控制所述流量控制阀的阀开度，

其中，

所述流量控制阀是权利要求1～5中的任意一项所述的流量控制阀。