[发明专利]元素分析装置和元素分析方法

权利要求书

1.一种元素分析装置，其特征在于，

所述元素分析装置包括：

加热炉，边导入载气边加热放入有试样的坩埚，使所述试样的至少一部分汽化而生成试样气体；

四极质谱仪，在真空气氛下提取混合气体中的所述试样气体所含的元素并进行定量分析，所述混合气体从所述加热炉导出且包含所述载气和所述试样气体；

第一调压器，控制导入所述加热炉的所述载气的压力并进行减压；

第二调压器，控制导入所述四极质谱仪的所述混合气体的压力并进行减压；以及

流量调节阀，通过限制由所述第二调压器减压后的混合气体的流量，从而进一步对所述混合气体的压力进行减压，

利用所述第一调压器、所述第二调压器和所述流量调节阀，将导入所述四极质谱仪的混合气体的压力阶段性地减压到真空气氛。

2.根据权利要求1所述的元素分析装置，其特征在于，所述元素分析装置还包括真空室，所述真空室与所述四极质谱仪连接，从所述第二调压器导出的所述混合气体全量导入所述真空室。

3.根据权利要求1所述的元素分析装置，其特征在于，所述元素分析装置还包括抽吸泵，所述抽吸泵设置在分支管道上，对压力被所述第二调压器控制了的所述混合气体进行抽吸，所述分支管道从所述第二调压器和所述四极质谱仪之间分支并延伸。

4.根据权利要求1所述的元素分析装置，其特征在于，通过所述第一调压器，将导入所述加热炉的所述载气的压力控制在20kPa以上80kPa以下的范围内。

5.根据权利要求1所述的元素分析装置，其特征在于，所述试样是含Ar的试样。

6.根据权利要求1所述的元素分析装置，其特征在于，

所述元素分析装置包括信息处理装置，所述信息处理装置根据基准分析数据和测量分析数据对所述试样气体所含的元素进行定量分析，

所述基准分析数据表示边向所述加热炉导入所述载气边加热放入有含有所述试样的主成分的入浴剂的所述坩埚、边向所述加热炉导入所述载气边不放入所述试样地加热所述坩埚、将从所述加热炉导出的所述载气导入所述四极质谱仪而得到的电流强度的经时变化，

所述测量分析数据表示边向所述加热炉导入所述载气边放入所述试样并加热所述坩埚、将从所述加热炉导出且包含所述载气和所述试样气体的所述混合气体导入所述四极质谱仪而得到的电流强度的经时变化。

7.一种元素分析方法，其对将试样汽化而生成的试样气体所含的元素进行定量分析，所述元素分析方法的特征在于，

边利用第一调压器向加热炉导入减压到20kPa以上80kPa以下范围内的载气边加热所述加热炉的放入有含有所述试样的主成分的入浴剂的坩埚，

边向所述加热炉导入所述载气边加热所述加热炉的放入有含Ar的试样的所述坩埚而生成试样气体，

利用第二调压器，将从所述加热炉导出且包含载气和试样气体的混合气体减压到规定的压力，

通过利用流量调节阀限制由所述第二调压器减压到规定的压力的所述混合气体的流量，从而将所述混合气体的压力进一步减压到1.5Pa以下并导入四极质谱仪，提取所述试样气体所含的元素并进行定量分析。

8.根据权利要求7所述的元素分析方法，其特征在于，

边向所述加热炉导入压力20kPa以上80kPa以下范围内的载气边加热所述加热炉的放入有含有所述试样的主成分的入浴剂的所述坩埚、边向所述加热炉导入所述载气边加热所述加热炉的未放入有所述试样的所述坩埚、将从所述加热炉导出的载气减压到1.5Pa以下并导入四极质谱仪，取得表示电流强度的经时变化的基准分析数据，

边向所述加热炉导入所述载气边加热所述加热炉的放入有含Ar的试样的所述坩埚而生成试样气体、将从所述加热炉导出且包含所述载气和所述试样气体的混合气体减压到1.5Pa以下并导入四极质谱仪，取得表示电流强度的经时变化的测量分析数据，

根据所述基准分析数据和所述测量分析数据，对所述试样气体所含的元素进行定量分析。