[发明专利]在衬底表面上提供多层涂料的方法有效
申请号: | 201780057445.5 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN109790622B | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | T·伯恩哈德;A·彼得;M·嫚斯崎;F·布鲁宁;T·比尔凯-特洛尼;H·布伦纳 | 申请(专利权)人: | 德国艾托特克公司 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12;C23C18/16;C23C18/18;C23C28/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 表面上 提供 多层 涂料 方法 | ||
1.一种在衬底表面上提供多层涂料的方法,其包含以下方法步骤:
(i)提供所述衬底;
(ii)将至少一种金属氧化物或至少一种金属氧化物前体沉积于所述衬底的所述表面上;
(iii)如果步骤(ii)中沉积了所述至少一种金属氧化物前体,则热处理所述衬底的所述表面,使得由所述金属氧化物前体形成金属氧化物;
(iv)利用包含至少一种含氮聚合物处理添加剂的处理溶液处理所述衬底的所述表面,所述含氮聚合物处理添加剂选自由以下各项组成的群组:处理添加剂TA1、处理添加剂TA2和处理添加剂TA3;
其中
所述处理添加剂TA1包含p个彼此独立地选自以下各式的单元:
其中各A1彼此独立地选自经取代和未经取代的C2-C4亚烷基;
各A2彼此独立地选自经取代和未经取代的C2-C4亚烷基;
各Ra1彼此独立地选自由以下各项组成的群组:氢、烷基、芳基、烷芳基和其中各Ra4彼此独立地选自由烷基和芳基组成的群组,或Ra1是式(I-1)的两个N之间或式(I-1)的一个N与式(I-2)的一个N之间的交联部分;
各Ra2和Ra3彼此独立地选自由以下各项组成的群组:氢、烷基、芳基、烷芳基,或Ra2和/或Ra3是在式(I-2)的两个N之间或式(I-1)的一个N与式(I-2)的一个N之间的交联部分;
p是在3到22000范围内的整数;
所述处理添加剂TA2包含q个下式(II)的单元
其中各D彼此独立地选自由以下各项组成的群组:
和
经取代或未经取代的包含至少两个氮原子的杂芳基;
其中
各Rb1、Rb2、Rb3、Rb4、Rb6、Rb7、Rb8、Rb10和Rb11彼此独立地选自由氢和烷基组成的群组;
各Rb5和Rb9彼此独立地选自C1-C8亚烷基;
各E独立地选自由以下各项组成的群组:
各Rc1、Rc2、Rc3、Rc4和Rc6彼此独立地选自C1-C8亚烷基;
各Rc5彼此独立地选自C1-C8亚烷基和亚烷芳基;
m是在2到100范围内的整数;
q是在2到22000范围内的整数;且
所述处理添加剂TA3包含r个下式(III)的单元
其中
各V彼此独立地选择为:
其中
各Y彼此独立地选自由N-H和O组成的群组;
各Rd1和Rd2彼此独立地选自C1-C8亚烷基;
各Z1和Z2彼此独立地选自由以下各项组成的群组:
经取代或未经取代的包含至少两个氮原子的亚杂芳基,以及
经取代或未经取代的包含至少两个氮原子的杂环二基;
其中各Re1和Re2彼此独立地选自由氢和烷基组成的群组;
各W彼此独立地选自由以下各项组成的群组:
其中
各Rf1、Rf2、Rf3、Rf4和Rf6彼此独立地选自C1-C8亚烷基;
各Rf5彼此独立地选自C1-C8亚烷基和亚烷芳基;
n是在2到100范围内的整数;
r是在2到22000范围内的整数;
(v)利用活化溶液处理所述衬底的所述表面;以及
(vi)利用金属化溶液处理所述衬底的所述表面,使得在其上沉积金属或金属合金。
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