[发明专利]台阶大小及镀金属厚度的光学测量

权利要求书

1.一种使用光学显微镜产生样本的三维信息的方法，所述方法包括：

按经预先确定的步骤变更所述样本与所述光学显微镜的物镜之间的距离；

在每一经预先确定的步骤处捕获图像，其中所述样本的第一表面及所述样本的第二表面在经捕获图像的每一者的视域内；

确定每一经捕获图像中的每一像素的特性值；

针对每一经捕获图像确定跨所述经捕获图像中的所有像素的最大特性值；

比较每一经捕获图像的所述最大特性值以确定每一经预先确定的步骤处是否存在所述样本的表面；

基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在所述样本的第一表面上的第一经捕获图像；

基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在所述样本的第二表面上的第二经捕获图像；

确定所述第一表面与所述第二表面之间的第一距离；

确定所述样本的半透明层的厚度；及

至少部分地基于所述半透明层的所述厚度来确定所述样本的金属层的厚度，其中所述光学显微镜包含载物台，其中所述样本由所述载物台支撑，其中所述光学显微镜经调适以与计算机系统通信，其中所述计算机系统包含经调适以存储每一经捕获图像的存储器装置，其中所述光学显微镜为共焦显微镜、结构化照明显微镜或干涉仪中的一者，且其中每一像素的所述特性值为强度、对比度或条纹对比度中的一者。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属层的所述厚度等于所述半透明层的所述厚度与所述第一距离之间的差，其中所述第一表面是光致抗蚀剂层的顶表面，且其中所述第二表面是金属层的顶表面。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属层的所述厚度等于所述半透明层的所述厚度与所述第一距离之和，其中所述第一表面是钝化层的顶表面，且其中所述第二表面是金属层的顶表面。

4.根据权利要求2所述的方法，其中仅使用每一经捕获图像的部分来确定所述样本的所述半透明层的所述厚度。

5.根据权利要求4所述的方法，其中可通过用户输入选择每一经捕获图像的所述部分。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定所述半透明层的所述厚度包括：

基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在从所述样本的所述半透明层的底表面反射的光上的第三经捕获图像；及

基于捕获所述第三经捕获图像的位置及所述半透明层的折射率确定所述半透明层的所述底表面的位置。

7.一种使用光学显微镜产生样本的三维信息的方法，所述方法包括：

按经预先确定的步骤变更所述样本与所述光学显微镜的物镜之间的距离；

在每一经预先确定的步骤处捕获图像，其中所述样本的第一表面及所述样本的第二表面在经捕获图像的每一者的视域内；

确定每一经捕获图像中的每一像素的特性值；

针对每一经捕获图像确定具有第一范围内的特性值的像素的计数，其中不具有所述第一范围内的特性值的所有像素未包含于所述像素计数中；

基于每一经捕获图像的所述像素计数确定每一经预先确定的步骤处是否存在所述样本的表面；

基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在所述样本的第一表面上的第一经捕获图像；

基于每一经捕获图像中的每一像素的所述特性值确定聚焦在所述样本的第二表面上的第二经捕获图像；

确定所述第一表面与所述第二表面之间的第一距离；

确定所述样本的半透明层的厚度；及

至少部分地基于所述半透明层的所述厚度来确定所述样本的金属层的厚度，其中所述光学显微镜包括载物台，其中所述样本由所述载物台支撑，其中所述光学显微镜经调适以与计算机系统通信，其中所述计算机系统包含经调适以存储每一经捕获图像的存储器装置，其中所述光学显微镜为共焦显微镜、结构化照明显微镜或干涉仪中的一者，且其中每一像素的所述特性值为强度、对比度或条纹对比度中的一者。