[发明专利]卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置

说明书

本申请提供一种可抑制成本并且对长条基材以几乎不产生皱褶的方式进行处理的卷对卷方式的长条基材的表面处理装置。一种表面处理装置，其具有：2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条树脂膜卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其以设置于与所述2个罐状辊的外周面对向的位置的磁控溅镀阴极为代表；且所述2个罐状辊中、除位于最上游侧的第1罐状辊以外的第2罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构。

技术领域

本发明涉及一种卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置，该卷对卷方式的表面处理装置具备2个以上的罐状辊，上述罐状辊于对在真空室内以卷对卷方式搬送的长条基材进行表面处理时，将长条基材卷绕至外周面并使其冷却。

背景技术

液晶面板、笔记型电脑、数位相机、行动电话等电子机器中使用于树脂膜上形成配线电路而成的可挠性配线基板。该可挠性配线基板可通过对在树脂膜的单面或者两面成膜金属膜而成的附有金属膜的树脂膜利用光微影法或蚀刻等薄膜技术对金属膜进行图案化加工而制作。近年来，可挠性配线基板的配线电路图案有更微细化、高密度化的倾向，伴随于此，对附有金属膜的树脂膜要求平坦且无皱褶的。

作为上述附有金属膜的树脂膜的制造方法，已知有利用接着剂将金属箔贴附于树脂膜而制造的方法(3层基板的制造方法)、于金属箔涂布树脂溶液后使其干燥而制造的方法(浇铸法)、单独利用真空成膜法或者同时使用真空成膜法与湿式镀覆法于树脂膜成膜金属膜而制造的方法(金属喷敷法)等。

上述制造方法中，于金属喷敷法中的真空成膜法中，使用真空蒸镀法、溅镀法、离子镀覆法、离子束溅镀法等。例如，作为溅镀法，于专利文献1中揭示有如下方法，即，于聚酰亚胺绝缘层上溅镀铬层后溅镀铜，由此形成导体层，于专利文献2中揭示有一种可挠性电路基板用材料，该可挠性电路基板用材料是由通过以铜镍合金为靶的溅镀而形成的第一金属薄膜与通过以铜为靶的溅镀而形成的第2金属薄膜按此顺序积层于聚酰亚胺膜上而成。

于利用上述真空成膜法于聚酰亚胺膜等树脂膜成膜金属膜而制作附有金属膜的树脂膜的情形时，一般使用一面以卷对卷方式连续地搬送长条树脂膜一面高效率地进行真空成膜的装置。于利用该真空成膜装置进行溅镀成膜的情形时，溅镀法一般密接力优异，但与真空蒸镀法相比，对树脂膜赋予的热负荷较大，故而有时于成膜时树脂膜产生皱褶。因此，于该真空成膜装置中采用如下溅镀网版涂布机，其一面于真空室内自退绕辊将长条树脂膜以卷对卷的方式搬送至卷取辊，同时将该长条树脂膜卷绕至设置于其搬送路径的罐状辊的外周面使其冷却，一面连续地进行真空成膜。

例如，于专利文献3中揭示有作为溅镀网版涂布机的一例的退绕卷取式(卷对卷方式)的真空溅镀装置。该退绕卷取式的真空溅镀装置具备发挥罐状辊的作用的冷却辊，进而进行通过设置于冷却辊的至少膜送入侧或者送出侧的副辊而使长条树脂膜密接于冷却辊的控制。

然而，如非专利文献1中所记载般，罐状辊的外周面从微观上来看并不平坦，故而罐状辊的外周面和与其接触而搬送的长条树脂膜之间存在介隔真空空间而隔开的间隙(间隙部)。因此，有成膜时所产生的长条树脂膜的热无法高效率地传递至罐状辊的情形，此成为使长条树脂膜产生皱褶的原因。

为了解决该问题，提出有如下技术，即，于溅镀网版涂布机中，自罐状辊的外周面释放气体而使该外周面与长条树脂膜之间的间隙部的热导率比真空高。例如，于专利文献4中揭示有于罐状辊的外周面设置成为气体的释放孔的多个微细孔的技术，于专利文献5中揭示有于罐状辊的外周面设置成为气体的释放孔的槽的技术。进而，亦已知有如下方法，即，以多孔质体构成罐状辊本身，将该多孔质体自身的微细孔设为气体释放孔。

再者，根据非专利文献2，记载有：于释放气体为氩气且其气体压力为500Pa的情形时，于罐状辊的外周面与树脂膜之间的间隙部的距离为约40μm以下的分子流区域，间隙部的热传导为250(W/m²·K)。于分子流区域的范围内，该间隙部的气体分子越多，即气体压力越高时，基于气体的分子流的热传递效率越是提高。