[发明专利]卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置

权利要求书

1.一种卷对卷方式的表面处理装置，其具有：至少2个罐状辊，其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条基材卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却；及表面处理手段，其设置于与上述罐状辊的外周面对向的位置；其特征在于：

上述至少2个罐状辊中，除位于最上游侧的罐状辊以外的至少1个罐状辊具备自外周面释放气体的气体释放机构，上述位于最上游侧的罐状辊与位于其紧邻的下游侧的罐状辊之间设置有张力截止用的驱动辊。

2.根据权利要求1所述的卷对卷方式的表面处理装置，其中，具有上述气体释放机构的罐状辊于其外周厚壁部于圆周方向上隔开大致均等的间隔地遍及全周具有沿旋转轴方向延伸的多个气体导入路，所述多个气体导入路的每一个具有沿该旋转轴方向以大致均等的间隔向外周面侧开口的多个气体释放孔，并且具备于位于罐状辊的外周面中未卷绕有上述长条基材的非包覆部时使气体停止的机构。

3.一种卷对卷方式的成膜装置，其中，根据权利要求1或2所述的表面处理手段为干式成膜手段。

4.根据权利要求3所述的卷对卷方式的成膜装置，其中，上述干式成膜手段为溅镀阴极。

5.一种卷对卷方式的表面处理方法，是一面于真空室内以卷对卷方式搬送长条基材，并将该长条基材卷绕至内部循环有冷媒的2个以上的罐状辊的外周面使其冷却，一面通过设置于与该外周面对向的位置的表面处理手段对该长条基材实施表面处理，其特征在于：

于上述2个以上的罐状辊中除位于最上游侧的罐状辊以外的至少1个罐状辊，一面自外周面释放气体一面实施该表面处理；及通过设置于上述位于最上游侧的罐状辊与位于其紧邻的下游侧的罐状辊之间的驱动辊进行张力截止。

6.根据权利要求5所述的卷对卷方式的表面处理方法，其中，上述表面处理为产生热负荷的处理，上述自外周面释放气体的罐状辊于其外周厚壁部于圆周方向上隔开大致均等的间隔地遍及全周具有沿旋转轴方向延伸的多个气体导入路，所述多个气体导入路的每一个具有沿该旋转轴方向以大致均等的间隔向外周面侧开口的多个气体释放孔，并且具备于位于罐状辊的外周面中未卷绕有上述长条基材的非包覆部时使气体停止的机构。

7.一种卷对卷方式的成膜方法，其中，根据权利要求5或6所述的表面处理为干式成膜处理。

8.根据权利要求7所述的卷对卷方式的成膜方法，其中，上述干式成膜处理为溅镀成膜。