[发明专利]阻气膜及太阳能电池以及阻气膜的制造方法

说明书

本发明的课题在于提供一种即使利用于具有施加压力及热等的工序的产品的情况下，还能够防止无机层的损伤的阻气膜、使用该阻气膜的太阳能电池及该阻气膜的制造方法。通过在支撑体的一面具有无机层和保护有机层，且保护有机层包括具有丙烯酸类聚合物主链、末端为丙烯酰基的氨基甲酸酯聚合物及氨基甲酸酯寡聚物中的至少一种侧链的接枝共聚物的聚合物、3官能以上的(甲基)丙烯酸酯单体的聚合物、接枝共聚物及3官能以上的(甲基)丙烯酸酯单体的聚合物、(甲基)丙烯酸酯聚合物及具有(甲基)丙烯酰基的硅烷偶联剂，解决课题。

技术领域

本发明涉及一种耐久性优异的阻气膜、使用该阻气膜的太阳能电池及该阻气膜的制造方法。

背景技术

使用阻气膜保护对氧气及水等弱的材料的产品的数量多。

例如，如有机EL(Electro Luminescence(电场发光))的自发光体，通过将成为基板的玻璃替换成阻气膜而能够得到挠性(flexibility)。这种挠性还影响产品的附加价值的提高。因此，作为用作基板等的玻璃的替代品，对能够显现高阻气性的阻气膜的期待高。

例如，尤其从环保等观点考虑，近几年盛行所谓的太阳能电池的能量领域的研究，例如，进行CIGS(Cu-In-Ga-Se(铜-铟-镓-硒))系太阳能电池、有机薄膜太阳能电池等的研究多。

阻气膜还能够利用于这种产业机材中。例如，通过将以往使用的太阳能电池模块(太阳能电池面板)的玻璃部分替换成阻气膜而能够实现赋予轻量化、挠性及柔软性等，对建筑材料的适应自由度，即利用范围也变广，从而期待广泛使用。

对使用于这种用途的阻气膜，需要例如水蒸气透射率为1×10^-3～1×10^-4g/(m²·day)左右的高阻气性。

作为具有这种高阻气性的阻气膜，已知有有机无机层叠型的阻气膜。有机无机层叠型的阻气膜是指具有1个以上的主要显现阻气性的无机层与成为该无机层的基底层(底涂层)的有机层的组合的阻气膜。

例如，专利文献1中记载有反复进行在基材上涂布含有单体或寡聚物的涂布液而设置涂布膜，使该涂布膜固化而形成有机层的工序，形成包含2层以上的有机层的基底层，通过真空成膜法在该基底层上形成无机层的层叠体的制造方法。

如该专利文献1中记载的阻气膜，通过作为基底层而形成有机层之后，形成具有阻气性的无机层，利用有机层的表面具有的平滑性而能够形成没有龟裂及剥离等缺陷的均匀的无机层。因此，根据这种有机无机层叠型的阻气膜，能够得到充分发挥无机层具有的阻气性的具有高阻气性的阻气膜。

如所述，对这种有机无机层叠型的阻气膜，主要显现阻气性为无机层。作为无机层，作为一例可利用氮化硅膜、氧化硅膜等。

其中，利用于阻气膜的氮化硅膜及氧化硅膜等的无机层，通常为脆性，并且为薄膜。因此，也已知在有机无机层叠型的阻气膜的表面形成有机层，使表面的有机层具有作为无机层的保护层的功能。如此，通过在表面形成作为保护层的有机层，能够对具有易破损的无机层的有机无机层叠型的阻气膜稳定地进行基于所谓的辊对辊(Roll to Roll)的处理及裁剪等加工。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-269193号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

然而，根据本发明人的研究，在太阳能电池及有机EL元件等组合有有机无机层叠型的阻气膜的情况下，有时发生很多无法得到充分的阻气性的情况。

关于这一方面，本发明人进行了深入研究。其结果，发现在太阳能电池等中利用有机无机层叠型的阻气膜时，仅凭组合具有高阻气性的阻气膜是不够充分的，关键在于如何防止显现阻气性的无机层的损伤。