[发明专利]用于将液体涂层涂敷到基板的方法

权利要求书

1.一种将材料涂敷到基板的方法，所述方法包括：

使用涂敷器用所述材料涂覆第一基板；

响应于用所述材料涂覆所述第一基板的完成，确定涂敷到所述第一基板的第一总材料量；

将涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量与第一预定控制范围进行比较；

响应于涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量与所述第一预定控制范围的所述比较，确定涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量是否在所述第一预定控制范围之外；

响应于确定出涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量在所述第一预定控制范围之外，(1)将所述涂敷器的速度、所述涂敷器的脉冲速率或所述材料的温度调节第一调节量，并且(2)将供应到所述涂敷器的所述材料的压力或所述涂敷器的扇形部宽度调节第二调节量，以改变涂敷到随后第二基板的总材料量；

使用所述涂敷器用所述材料涂覆所述第二基板；

响应于用所述材料涂覆所述第二基板的完成，确定涂敷到所述第二基板的第二总材料量；

将涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量与所述第一预定控制范围进行比较；以及

响应于涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量与所述第一预定控制范围的所述比较，确定涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量是否在所述第一预定控制范围内。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量包括涂敷到所述第一基板的所述材料的第一总体积；并且

涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量包括涂敷到所述第二基板的所述材料的第二总体积。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述材料的所述第一总体积和所述材料的所述第二总体积均基于从流量计发送的一个或更多个电脉冲来确定，所述一个或更多个电脉冲中的每一个电脉冲对应于穿过所述流量计的所述材料的固定体积。

4.根据权利要求1所述的方法，其中：

涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量包括涂敷到所述第一基板的所述材料的第一总重量；并且

涂敷到所述第二基板的所述第二总材料量包括涂敷到所述第二基板的所述材料的第二总重量。

5.根据权利要求4所述的方法，其中：

基于在涂覆所述第一基板之前的所述材料的供应器的重量与在涂覆所述第一基板之后的所述材料的所述供应器的重量之间的第一重量差，确定所述材料的所述第一总重量；并且

基于在涂覆所述第二基板之前的所述材料的所述供应器的重量与在涂覆所述第二基板之后的所述材料的所述供应器的重量之间的第二重量差，确定所述材料的所述第二总重量。

6.根据权利要求1所述的方法，其中通过所述第一调节量来调节所述涂敷器的速度。

7.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

响应于确定出涂敷到所述第一基板的所述第一总材料量在所述第一预定控制范围之外，确定所述第一总材料量在所述第一预定控制范围之外的程度，其中所述第一调节量和所述第二调节量均至少部分地基于所述第一总材料量在所述第一预定控制范围之外的所述程度。

8.根据权利要求1所述的方法，其中通过所述第一调节量来调节所述材料的温度。

9.根据权利要求8所述的方法，其中通过被设置在所述材料的供应器中的加热元件的操作来调节所述材料的温度。

10.根据权利要求8所述的方法，其中通过被设置在将所述材料的供应器与所述涂敷器连接的导管中的加热元件的操作来调节所述材料的温度。

11.根据权利要求8所述的方法，其中通过被设置在所述涂敷器中的加热元件的操作来调节所述材料的温度。