[发明专利]粒子检测装置及粒子检测装置的控制方法

说明书

一种粒子检测装置，其具备：腔室(30)；第一导入流路(225)，其用于将包含粒子的流体导入腔室(30)内；第二导入流路(235)，其用于将粒子被除去了的流体导入腔室(30)内；光源(10)，其为了检测包含于流体中的粒子而对腔室(30)内的流体照射光；排出流路(260)，其用于从腔室(30)排出流体；导入流量计(245)，其计量在第二导入流路(235)流动的流体的流量；以及控制部(301)，其以在第一导入流路(225)流动的流体的规定的流量与导入流量计(245)所计量的在第二导入流路(235)流动的流体的流量的合计流量的流体在排出流路(260)流动的方式进行控制。

技术领域

本发明涉及环境评价技术，特别涉及粒子检测装置及粒子检测装置的控制方法。

背景技术

在生物洁净室等洁净室中，使用粒子检测装置检测并记录正在飞散的微生物粒子或非微生物粒子。根据粒子的检测结果，能够掌握洁净室的空气调节设备的劣化情况。另外，也存在将洁净室内的粒子的检测记录作为参考资料附于在洁净室制造的制品的情况。光学式的粒子检测装置例如吸引洁净室中的气体，并对吸引的气体照射激发光。当微生物粒子或非微生物粒子包含于气体时，被照射激发光的粒子发出荧光，因此检测出包含于气体中的微生物粒子或非微生物荧光粒子的数量和大小变得可能(例如，参照专利文献1)。另外，在洁净室以外正确地检测出流体中的粒子的技术也受到期待。在这里，流体不限定于气体，也包含液体。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2015-511025号公报

发明内容

发明要解决的问题

在粒子检测装置中，被照射激发光的流体的流速以及根据流速计算出的流量可能会对包含于流体中的粒子的检测精度产生影响。为此，也存在与粒子检测装置中的流体的流速相关的规格。因此，本发明的目的之一在于提供容易将作为检验对象的流体的流量保持固定的粒子检测装置以及粒子检测装置的控制方法。

解决问题的技术手段

根据本发明的形态，提供一种粒子检测装置，其具备：(a)腔室；(b)第一导入流路，其用于将包含粒子的流体导入腔室内；(c)第二导入流路，其用于将粒子被除去了的流体导入腔室内；(d)检测器，其对腔室内的流体照射光，并检测包含于流体的粒子；(e)排出流路，其用于从腔室排出流体；(f)导入流量计，其计量在第二导入流路流动的流体的流量；(g)控制部，其以在第一导入流路流动的流体的规定的流量与导入流量计计量的流量的合计流量的流体在排出流路流动的方式进行控制。

上述的粒子检测装置也可以被设置于排出流路，并且还具备用于吸引腔室内的流体的吸引机，控制部也可以以从腔室吸引合计流量的流体的方式控制吸引机。

上述的粒子检测装置也可以还具备设置于排出流路的阀门，控制部也可以以合计流量的流体在排出流路流动的方式控制阀门。

上述的粒子检测装置也可以还具备排出流量计，其计量在排出流路流动的流体的流量。

上述的粒子检测装置也可以还具备比较部，其对导入流量计所计量的流量和排出流量计所计量的流量的差与在第一导入流路流动的流体的规定的流量进行比较。

上述的粒子检测装置也可以还具备校正部，其在导入流量计所计量的流量和排出流量计所计量的流量的差比规定的流量大的情况下，使在排出流路流动的合计流量减少。另外，上述的粒子检测装置也可以还具备校正部，其在导入流量计所计量的流量和排出流量计所计量的流量的差比规定的流量小的情况下，使在排出流路流动的合计流量增加。