[发明专利]粒子检测装置及粒子检测装置的控制方法

权利要求书

1.一种粒子检测装置，其特征在于，具备：

腔室；

第一导入流路，其用于将包含粒子的流体导入所述腔室内；

第二导入流路，其用于将粒子被除去了的流体导入所述腔室内；

检测器，其对所述腔室内的所述流体照射光，并检测包含于所述流体中的粒子；

排出流路，其用于从所述腔室排出流体；

导入流量计，其计量在所述第二导入流路流动的流体的流量；

控制部，其以在所述第一导入流路流动的流体的规定的流量与所述导入流量计所计量的流量的合计流量的流体在所述排出流路流动的方式进行控制；

排出流量计，其计量在所述排出流路流动的流体的流量；

比较部，其对所述导入流量计所计量的流量和所述排出流量计所计量的流量的差与在所述第一导入流路流动的流体的规定的流量进行比较；以及

校正部，其在所述差比所述规定的流量大的情况下，使在所述排出流路流动的合计流量减少，并在所述差比所述规定的流量小的情况下，使在所述排出流路流动的合计流量增加。

2.根据权利要求1所述的粒子检测装置，其特征在于，

还具备吸引机，其被设置于所述排出流路，并用于吸引所述腔室内的流体，

所述控制部以所述合计流量的流体从所述腔室被吸引的方式来控制所述吸引机。

3.根据权利要求1所述的粒子检测装置，其特征在于，

还具备阀门，其被设置于所述排出流路，

所述控制部以所述合计流量的流体在所述排出流路流动的方式控制所述阀门。

4.一种粒子检测装置的控制方法，其特征在于，具备：

将包含粒子的流体从第一导入流路导入粒子检测装置的腔室内的步骤；

将粒子被除去了的流体从第二导入流路导入所述腔室内的步骤；

用排出流路从所述腔室排出流体的步骤；

用导入流量计计量在所述第二导入流路流动的流体的流量的步骤；

以在所述第一导入流路流动的流体的规定的流量与所述导入流量计所计量的流量的合计流量的流体在所述排出流路流动的方式进行控制的步骤；

用排出流量计计量在所述排出流路流动的流体的流量的步骤；

对所述导入流量计所计量的流量和所述排出流量计所计量的流量的差与在所述第一导入流路流动的流体的规定的流量进行比较的步骤；以及

在所述差比所述规定的流量大的情况下，进行使在所述排出流路流动的合计流量减少的校正，并在所述差比所述规定的流量小的情况下，进行使在所述排出流路流动的合计流量增加的校正的步骤。