[发明专利]校准方法及校准装置

说明书

本发明提供校准方法及校准装置。校准方法具备：准备工序(S1)，准备第1基板(110)及第2基板(120)经由未固化的状态的树脂材料(130)重叠形成的校准对象物(100)；校准工序(S4)，在使未固化的状态的树脂材料介于第1基板(110)与第2基板(120)之间的状态下，检测第1基板(110)与第2基板(120)的相对位置关系，基于该检测结果，使第1基板与第2基板相互校准；和固化工序(S5)，在校准工序已开始后，使未固化的状态的树脂材料固化，校准工序包括使第1基板及第2基板中的至少一方在平面方向上移动的第1校准工序(S41)。

技术领域

本发明涉及校准方法及校准装置。

相关申请的交叉引用

本申请主张享有2016年6月17日在日本申请的特愿2016-120513号、及2016年6月17日在日本申请的特愿2016-120514号的优先权，并在此引用其全部内容，成为本说明书的一部分。

背景技术

公知有在对贴合对象与基底玻璃板高精度地进行了校准的状态下，通过胶接辊将基底玻璃板按压于贴合对象的技术(例如，参照专利文献1)。

公知有在真空环境下，在配置于对置位置的偏光元件与透明基板经由透明的液态粘合剂所构成的粘合剂层进行了贴合后，使该粘合剂层固化的技术(例如，参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开2009-40617号公报

专利文献2：日本特开2009-237202号公报

在专利文献1及专利文献2记载的技术中，在将第1基板与第2基板分别进行了校准之后，使第1基板与第2基板重合。因此，在使第1基板与第2基板重合时，存在第1基板的位置与第2基板的位置错开，使校准精度下降之类的问题。

发明内容

本发明所要解决的课题为，提供能够提高第1基板与第2基板的校准精度的校准方法及校准装置。

[1]本发明涉及的校准方法，具备：准备工序，准备第1基板与第2基板经由未固化的状态的树脂材料重叠形成的校准对象物；校准工序，在使上述未固化的状态的树脂材料介于上述第1基板与上述第2基板之间的状态下，检测上述第2基板相对于上述第1基板的相对位置，基于该检测结果，使上述第1基板与上述第2基板相互校准；以及固化工序，在上述校准工序已开始后，使上述未固化的状态的树脂材料固化，上述校准工序包括使上述第1基板及上述第2基板中的至少一方在平面方向上移动的第1校准工序。

[2]在上述发明中，也可以是，在上述准备工序之后且在上述校准工序之前，进一步具备通过第1板及第2板夹持上述校准对象物的保持工序，上述保持工序包括使上述第1板保持上述第1基板，并且使上述第2板保持上述第2基板的步骤，上述第1校准工序包括使上述第1板及上述第2板中的至少一方在平面方向上移动，使上述第1基板及上述第2基板中的至少一方在平面方向上移动的步骤。

[3]在上述发明中，也可以是，上述固化工序包括：第1固化工序，使上述未固化的状态的树脂材料的至少一部分固化，维持上述第1基板及上述第2基板相互达成校准的状态；和第2固化工序，在上述第1固化工序之后，使上述未固化的状态的树脂材料的整体固化，使上述第1基板及上述第2基板相互固定。

[4]在上述发明中，也可以是，上述校准工序包括在使上述未固化的状态的树脂材料介于上述第1基板与上述第2基板之间的状态下，通过摄像机构对上述第1基板及上述第2基板进行摄像，从而检测上述相对位置的步骤。

[5]在上述发明中，也可以是，上述校准工序包括在上述摄像机构的同一视野内对上述第1基板的第1图案与上述第2基板的第2图案同时进行摄像的步骤。