[发明专利]校准方法及校准装置

权利要求书

1.一种校准方法，其中，具备：

准备工序，准备第1基板与第2基板经由未固化的状态的树脂材料重叠形成的校准对象物；

校准工序，在使所述未固化的状态的树脂材料介于所述第1基板与所述第2基板之间的状态下，检测所述第2基板相对于所述第1基板的相对位置，基于所述相对位置，将所述第1基板及所述第2基板相互校准；以及

固化工序，在所述校准工序开始后，使所述未固化的状态的树脂材料固化，

所述校准工序包括使所述第1基板及所述第2基板中的至少一方在平面方向上移动的第1校准工序。

2.根据权利要求1所述的校准方法，其中，

在所述准备工序之后且在所述校准工序之前，进一步具备通过第1板及第2板夹持所述校准对象物的保持工序，

所述保持工序包括使所述第1板保持所述第1基板，并且使所述第2板保持所述第2基板的步骤，

所述第1校准工序包括使所述第1板及所述第2板中的至少一方在平面方向上移动，使所述第1基板及所述第2基板中的至少一方在平面方向上移动的步骤。

3.根据权利要求1或2所述的校准方法，其中，

所述固化工序包括：

第1固化工序，使所述未固化的状态的树脂材料的至少一部分固化，维持所述第1基板及所述第2基板相互达成校准的状态；和

第2固化工序，在所述第1固化工序之后，使所述未固化的状态的树脂材料的整体固化，将所述第1基板及所述第2基板相互固定。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的校准方法，其中，

所述校准工序包括在使所述未固化的状态的树脂材料介于所述第1基板与所述第2基板之间的状态下，通过摄像机构对所述第1基板及所述第2基板进行摄像，从而检测所述相对位置的步骤。

5.根据权利要求4所述的校准方法，其中，

所述校准工序包括在所述摄像机构的同一视野内对所述第1基板的第1图案及所述第2基板的第2图案同时进行摄像的步骤。

6.根据权利要求4或5所述的校准方法，其中，

所述校准工序包括继续所述第1基板及所述第2基板的摄像，直到所述第1基板的第1图案与所述第2基板的第2图案实质上一致为止的步骤，

所述固化工序在所述第1基板的第1图案与所述第2基板的第2图案实质上达成一致的时刻被执行。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的校准方法，其中，

所述摄像机构固定于所述第1板。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的校准方法，其中，

所述第1校准工序包括使所述第1基板及所述第2基板中的至少一方在平面方向上移动以使在俯视视角中所述相对位置与预先设定的目标位置对应的步骤，

所述固化工序在俯视视角中所述相对位置与所述目标位置达成对应的情况下被执行。

9.根据权利要求8所述的校准方法，其中，

所述校准工序进一步包括第2校准工序，所述第2校准工序在使所述未固化的状态的树脂材料介于所述第1基板与所述第2基板之间的状态下，检测所述第2基板相对于所述第1基板的相对形状，基于所述相对形状，使所述第1基板及所述第2基板中的至少一方在平面方向上产生热变形，

所述第2校准工序包括调整所述第1基板及所述第2基板中的至少一方的温度，以使在俯视视角中所述相对形状与预先设定的目标形状对应，使得所述相对位置与所述目标位置对应的步骤，

所述固化工序在俯视视角中所述相对形状与所述目标形状达成对应的情况下被执行。

10.根据权利要求9所述的校准方法，其中，

所述第2校准工序包括针对在俯视视角中被划分出的多个区域的每一区域调整所述第1基板及所述第2基板中的至少一方的温度的步骤。