[发明专利]喷嘴过滤器

说明书

本发明提供用于从液体流过滤微粒的装置及方法。过滤器筒包含：外壳，其经配置以放置成与液体流同轴；及多个中空纤维过滤器构件，其安置于所述外壳内。中空纤维过滤器构件填装于所述外壳的一端处且经配置以经由表面能从所述液体流捕获微粒。所述过滤器筒可提供低压力损失过滤且能够放置于小空间内。

背景技术

过滤经常导致从液体进料进入过滤器的点到所述液体从所述过滤器发出的点的非所要压降。当液体被迫通过过滤器介质时，其遇到介质的阻力，从而导致液体的减小流率。在(例如)其中避免压力累积在过滤器的上游或其中期望过滤前和后液体的连续流率的一些应用中，经由过滤器的高压降是非所要的。

一些微制造工艺(例如光刻)需要极清洁操作条件，包含从再循环蚀刻槽移除粒子。另外，归因于所生产的物件的复杂性和小尺寸，期望利用能够布置在小空间内的过滤设备。

发明内容

本发明涉及过滤的方法和用于从流体(例如液体或气流)移除微粒或污染物的过滤器筒或喷嘴。具体来说，本发明涉及可提供低压力损失过滤且能够放置在小空间内的过滤器筒或喷嘴。

过滤器筒的一个实施例包含：外壳，其经配置以放置成与液体或气体的流同轴；和多个中空纤维过滤器构件，其安置在所述外壳内。在某些方面中，中空纤维过滤器构件经配置以经由表面能从所述液体或气体的所述流捕获微粒。归因于中空纤维的敞开配置和经由非筛分保留的过滤，流体能够在无显著压力下降的情况下通过过滤器筒。

本发明还涉及一种过滤液体或气体进料的方法，所述方法包含引导液体或气体的流通过过滤器筒版本及在所述过滤器筒的中空纤维过滤器元件处捕获包含在液体或气体内的微粒。

附图说明

将从本发明的实例性实施例的以下更特定描述明白前文，如附图中所说明，其中相同元件符号是指不同视图中的相同零件。图式是为强化说明本发明的实施例，并不定按比例绘制。

图1是过滤器筒的透视图，其通过筒外壳的部分剖面图说明含在筒内的中空纤维。

图2是图1的筒的透视图，其中透明地说明外壳。

图3是与两个软管串联连接的过滤器筒的示意图。

具体实施方式

尽管本发明将参考其实例性实施例特定地展示且描述，但所属领域的技术人员应理解可在不会背离由所附权利要求书涵盖的本发明的范围的情况下对本发明中的形成及细节实行各种改变。

尽管描述各种组合物和方法，但应理解本发明不受限于所描述的特定分子、组合物、设计、方法或协议，这是因为这些分子、组合物、设计、方法或协议可改变。我们也应理解用于描述的术语仅是为了描述特定版本或若干版本，且不希望限制将仅由所附权利要求书限制的本发明的范围。

也必须注意，如本文及所附权利要求书中所使用，除非内文另有明确指示，否则单数形式“一个”和“所述”包含复数指涉物。因此，例如，对“中空纤维”的提及是指所属领域的技术人员已知的一或多个中空纤维元件及其等效物等等。除非本文另有规定，否则本文所使用的所有技术和科学术语具有如所属领域的技术人员所共同理解的相同意义。类似或等效于本文所描述的方法和材料的方法和材料可用于本发明的版本的实践和测试。本文中提及的所有出版物的全部内容以引用的方式并入。本文中的任何内容均不被视为本发明不享有凭借先前发明使此揭示内容提前日期的准许。“任选”或“视情况”意谓随后描述的事件或情况可或可不发生，及描述包含其中事件发生的例项和其中事件未发生的例项。无论是否明确指示，本文中的所有数值可由术语“约”修饰。术语“约”大体上是指所属领域的技术人员将视为等效于所列举的值(即具有相同功能或结果)的数目的范围。在一些版本中，术语“约”是指所述值的±10％，在其它版本中，术语“约”是指所述值的±2％。