[发明专利]表面被覆切削工具

说明书

表面被覆切削工具具有基材和在基材的表面上形成的覆膜。覆膜包括交替层。交替层包括具有第一组成的第一层和具有第二组成的第二层。交替层通过交替地层叠一个或多个第一层以及一个或多个第二层而构成。第一层和第二层各自的厚度为2nm至100nm(含端点)。第一组成由Ti_aAl_bSi_cN(其中0.25≤a≤0.45，0.55≤b≤0.75，0≤c≤0.1并且(a+b+c)＝1)表示。第二组成由Ti_dAl_eSi_fN(其中0.35≤d≤0.55，0.45≤e≤0.65，0≤f≤0.1并且(d+e+f)＝1)表示。第一组成和第二组成满足0.05≤(d‑a)≤0.2和0.05≤(b‑e)≤0.2。

技术领域

本公开涉及一种表面被覆切削工具。

本申请要求于2016年4月19日提交的日本专利申请No.2016-083780的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

背景技术

日本专利待审查公开No.2002-096205(专利文献1)和日本专利待审查公开No.2011-224715(专利文献2)公开了一种表面被覆切削工具，其包括基材和在基材的表面上形成的覆膜。

引用列表

专利文献

专利文献1：日本专利待审查公开No.2002-096205

专利文献2：日本专利待审查公开No.2011-224715

发明内容

根据本公开的表面被覆切削工具包括基材和在基材的表面上形成的覆膜。覆膜包括交替层。交替层包括具有第一组成的第一层和具有第二组成的第二层。交替层通过交替地堆叠至少一个第一层和至少一个第二层而形成。第一层和第二层各自的厚度为2nm以上100nm以下。

第一组成表示为Ti_aAl_bSi_cN(0.25≤a≤0.45，0.55≤b≤0.75，0≤c≤0.1，a+b+c＝1)。第二组成表示为Ti_dAl_eSi_fN(0.35≤d≤0.55，0.45≤e≤0.65，0≤f≤0.1，d+e+f＝1)。第一组成和第二组成满足条件0.05≤d-a≤0.2和0.05≤b-e≤0.2。

附图简要说明

图1为示出根据本公开的实施方案的表面被覆切削工具的结构的一个实例的示意性局部截面图。

图2为示出根据本公开的实施方案的表面被覆切削工具的制造方法的概略流程图。

图3为成膜装置的示意性截面图。

图4为成膜装置的示意性平面图。

具体实施方式

[本公开要解决的问题]

表面被覆切削工具的使用环境每天都在变化。特别是近年来，随着新材料的出现，加工材料更多样化，并且加工速度(切削速度和进给速度)显著提高。因此，对表面被覆切削工具的要求日益提高。

例如，已经开发出镍(Ni)基耐热合金并投入工业应用。Ni基耐热合金是耐热性优异的新材料。然而相反地，Ni基耐热合金是所谓的难切削材料，并且在其切削加工中工具的使用寿命趋于缩短。

在切削诸如Ni基耐热合金之类的难切削材料时，工具的切削刃处的温度升高显著。随着加工速度的提高，工具的切削刃处的温度进一步升高。因此，需要开发即使在高温环境下也能够表现出耐磨性和耐氧化性的覆膜。