[发明专利]用于校正从目标裸片及参考裸片的比较所产生的差异图像的系统、方法及计算机程序产品

权利要求书

1.一种用于校正差异图像的方法，其包括：

执行目标裸片图像的裸片内检验以针对每一关注图案产生第一代表性图像；

执行参考裸片图像的裸片内检验以针对所述关注图案中的每一者产生第二代表性图像；

比较所述目标裸片图像及所述参考裸片图像以产生至少一个差异图像；

使用所述已产生的第一代表性图像中的每一者及所述已产生的第二代表性图像中的每一者校正所述至少一个差异图像；及

使用所述经校正差异图像执行检测。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括从检验系统的收集器接收所述目标裸片图像及所述参考裸片图像。

3.根据权利要求1所述的方法，其中调制所述目标裸片及所述参考裸片中的至少一者。

4.根据权利要求1所述的方法，其中执行所述目标裸片图像的所述裸片内检验以针对每一关注图案产生所述第一代表性图像包含：

识别所述目标裸片图像内的关注图案，

识别所述目标裸片图像内的所述关注图案的所有例子，

创建针对所述例子的注意区域，

将所述注意区域分组，

从所述注意区域中的每一者收集信号，

集合所述信号以产生针对所述关注图案的所述第一代表性图像。

5.根据权利要求4所述的方法，其中集合所述信号包含从所述信号确定逐像素平均值。

6.根据权利要求4所述的方法，其中集合所述信号包含从所述信号确定逐像素中间值。

7.根据权利要求1所述的方法，其中执行所述参考裸片图像的所述裸片内检验以针对所述关注图案中的每一者产生所述第二代表性图像包含：

识别与所述目标裸片图像相关联的所述关注图案中的一者，

识别所述参考裸片图像内的所述关注图案的所有例子，

创建针对所述例子的注意区域，

将所述注意区域分组，

从所述注意区域中的每一者收集信号，

集合所述信号以产生针对所述关注图案的所述第二代表性图像。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个差异图像中的每一者指示所述目标裸片图像及所述参考裸片图像中具有不同信号的对应位置。

9.根据权利要求8所述的方法，其中在不使用灵敏度阈值的情况下产生所述至少一个差异图像。

10.根据权利要求1所述的方法，其中使用所述已产生的第一代表性图像中的每一者及所述已产生的第二代表性图像中的每一者校正所述至少一个差异图像包含，针对所述关注图案中的每一者：

获得针对所述关注图案产生的所述第一代表性图像与针对所述关注图案产生的所述第二代表性图像之间的代表性差异，及

从与具有所述关注图案的位置相关联的所述至少一个差异图像中的每一者减去所述代表性差异。

11.根据权利要求1所述的方法，其中使用所述至少一个经校正差异图像执行所述检测包含将检测算法应用到所述至少一个经校正差异图像以检测所述目标裸片图像中的缺陷。

12.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个经校正差异图像具有相较于从所述目标裸片图像及所述参考裸片图像的所述比较已产生的所述至少一个差异图像减小的噪声。