[发明专利]红外线吸收玻璃板及其制造方法、以及固体摄像元件设备有效

专利信息
申请号: 201780004742.3 申请日: 2017-02-14
公开(公告)号: CN108367966B 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 中堀宏亮;乾武志;笹井辰夫;东乡敦史 申请(专利权)人: 日本电气硝子株式会社
主分类号: C03C4/08 分类号: C03C4/08;C03C3/17;C03C15/00;C03C19/00;H01L27/146
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳;程采
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 红外线 吸收 玻璃板 及其 制造 方法 以及 固体 摄像 元件 设备
【权利要求书】:

1.一种红外线吸收玻璃板,其特征在于:

具有彼此相对的第一主面和第二主面、以及将所述第一主面和第二主面连接的侧面,

所述红外线吸收玻璃板由实质上不含氟的磷酸盐系玻璃构成,

所述磷酸盐系玻璃以质量%计含有P2O5 25~60%、Al2O3 2~19%、RO 5~45%、ZnO 0~13%、K2O 8~20%、Na2O 0~12%和CuO 0.3~20%,其中,R为选自Mg、Ca、Sr和Ba中的至少1种,并且,P2O5相对于RO的含量之比P2O5/RO为1.0~1.9,

厚度为0.2mm以下,

在所述侧面不存在微裂纹。

2.如权利要求1所述的红外线吸收玻璃板,其特征在于:

在所述第一主面和第二主面不存在研磨痕。

3.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板,其特征在于:

所述第一主面的面积为100mm2以上25000mm2以下。

4.如权利要求3所述的红外线吸收玻璃板,其特征在于:

所述第一主面的面积为1000mm2以上25000mm2以下。

5.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板,其特征在于:

支点间距离为2.5mm时的3点弯曲强度在35N/mm2以上。

6.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板,其特征在于:

所述第一主面的面积为1mm2以上且小于1000mm2

7.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板,其特征在于:

所述红外线吸收玻璃板用于固体摄像元件设备。

8.如权利要求1或2所述的红外线吸收玻璃板,其特征在于:

在所述第一主面和所述第二主面的至少一方上设有光学膜。

9.如权利要求8所述的红外线吸收玻璃板,其特征在于:

所述光学膜为电介质多层膜。

10.一种红外线吸收玻璃板的排列组件,其特征在于,具有:

支撑体;和

在所述支撑体上以矩阵状配置的 权利要求1~9中任一项的多个红外线吸收玻璃板。

11.一种红外线吸收玻璃板的制造方法,其用于制造权利要求1~7中任一项所述的红外线吸收玻璃板,该制造方法的特征在于,包括:

对由磷酸盐系玻璃构成的板状的玻璃母材进行物理研磨的研磨工序;和

将经所述物理研磨后的玻璃母材浸渍于碱性洗剂中对其进行蚀刻的蚀刻工序。

12.如权利要求11所述的红外线吸收玻璃板的制造方法,其特征在于:

在所述研磨工序中,通过所述物理研磨使所述玻璃母材的厚度达到0.23mm以上0.3mm以下。

13.如权利要求11或12所述的红外线吸收玻璃板的制造方法,其特征在于:

在所述蚀刻工序中,将经所述物理研磨后的玻璃母材浸渍于pH为7.1以上的碱性洗剂中对其进行蚀刻。

14.如权利要求11或12所述的红外线吸收玻璃板的制造方法,其特征在于:

所述碱性洗剂包含氨基多羧酸的碱盐。

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