[实用新型]麦克风

权利要求书

1.一种麦克风，其特征在于，包括：

微电机系统麦克风器件、模拟信号集成电路和数字信号集成电路；

所述微电机系统麦克风器件用于根据接收到的声音信号，改变所述微电机系统麦克风器件信号输出端输出的电信号；

所述模拟信号集成电路的偏压输出端与所述微电机系统麦克风器件的偏压输入端电连接，用于为所述微电机系统麦克风器件提供偏压值，所述偏压值为模拟信号，所述偏压值与所述微电机系统麦克风器件感知所述声音信号的灵敏度相匹配；

所述数字信号集成电路的信号输入端与所述微电机系统麦克风器件的信号输出端电连接，用于处理所述微电机系统麦克风器件信号输出端输出的电信号。

2.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，

所述模拟信号集成电路的电源端和所述数字信号集成电路的电源端电连接，所述模拟信号集成电路的接地端与所述数字信号集成电路的接地端电连接。

3.根据权利要求2所述的麦克风，其特征在于，

还包括电源模块，所述电源模块分别与所述模拟信号集成电路的电源端和所述数字信号集成电路的电源端电连接，用于与所述模拟信号集成电路和所述数字信号集成电路提供电源。

4.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，

所述模拟信号集成电路的信号输入端悬空，所述模拟信号集成电路的信号输出端悬空。

5.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，

所述数字信号集成电路的信号输出端用于输出处理之后的所述微电机系统麦克风器件信号输出端输出的电信号。

6.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，

所述数字信号集成电路的时钟信号端，用于接入时钟信号。

7.根据权利要求1所述的麦克风，其特征在于，

所述微电机系统麦克风器件包括第一电极和第二电极，所述微电机系统麦克风器件用于根据接收到的声音信号，改变所述第一电极和所述第二电极之间的距离，以改变所述微电机系统麦克风器件信号输出端输出的电信号；

所述微电机系统麦克风器件的第一电极与所述微电机系统麦克风器件的偏压输入端电连接电连接，所述微电机系统麦克风器件的第二电极与所述微电机系统麦克风器件的信号输出端电连接。

8.根据权利要求7所述的麦克风，其特征在于，

所述微电机系统麦克风器件为麦克风芯片，所述麦克风芯片包括振膜和背极板，所述振膜作为所述第一电极，所述背极板作为所述第二电极。

9.根据权利要求8所述的麦克风，其特征在于，

所述麦克风芯片还包括芯片衬底；

设置在所述芯片衬底上的第一绝缘层；

所述振膜设置在所述第一绝缘层上；

设置在所述振膜上的第二绝缘层；

所述背极板设置在所述第二绝缘层上。