[实用新型]合成炉喷嘴和三氯氢硅合成炉

权利要求书

1.一种合成炉喷嘴，其特征在于包括喷管和开口朝下的压帽；在喷管的中部外侧一体固定有环台，压帽的下部内侧和环台的外侧固定安装在一起，喷管的上部分别与压帽的顶部和侧部有间距，环台、喷管与压帽之间形成密封喷射腔，在压帽的中部均布有至少两个与密封喷射腔相通的倾斜朝下的喷射口，喷管的顶端高于喷射口的顶端。

2.根据权利要求1所述的合成炉喷嘴，其特征在于喷射口与竖直面的夹角为45度至60度。

3.根据权利要求1或2所述的合成炉喷嘴，其特征在于位于环台下方喷管的中部外侧一体固定有挡台，挡台的外径大于环台的外径。

4.根据权利要求3所述的合成炉喷嘴，其特征在于压帽的下部内侧设有环槽，喷管外侧的环台固定安装在压帽的环槽内。

5.根据权利要求4所述的合成炉喷嘴，其特征在于压帽的上部为上小下大的锥形，压帽的下部外侧为四棱形或六棱形，压帽的下部外径大于压帽的中部外径；或/和，挡台的外侧为四棱形或六棱形；或/和，喷管外侧的环台通过螺纹固定安装在压帽的环槽内。

6.根据权利要求3所述的合成炉喷嘴，其特征在于喷管的下部设有外螺纹。

7.根据权利要求1或2或4或5所述的合成炉喷嘴，其特征在于喷管的下部设有外螺纹。

8.一种使用根据权利要求1或2或3或4或5所述的合成炉喷嘴的三氯氢硅合成炉，其特征在于包括合成炉本体和合成炉喷嘴；在合成炉本体的下部设有进气端，在合成炉本体的顶部设有出气端，在合成炉本体的中部设有进料端，在合成炉本体的下部腔体内固定安装有分隔板，在分隔板上均布有与合成炉本体的上部腔体和下部腔体相通的安装孔，在分隔板的安装孔上固定安装有合成炉喷嘴，合成炉喷嘴位于合成炉本体的上部腔体内。

9.根据权利要求8所述的三氯氢硅合成炉，其特征在于合成炉本体的中部外侧固定连接有换热壳，换热壳与对应位置的合成炉本体形成换热环腔，在换热壳的下部设有与换热环腔相通的进水端，在换热壳的上部设有与换热环腔相通的出水端。

10.根据权利要求8或9所述的三氯氢硅合成炉，其特征在于合成炉本体包括炉体和下封头；在炉体和下封头之间安装有分隔板，炉体的下端和下封头的上端通过螺栓和螺帽固定安装在一起，分隔板通过螺栓和螺帽压紧在炉体和下封头之间，在分隔板上均布有与炉体的腔体和下封头的腔体相通的安装孔，喷管的下部通过螺纹固定安装在分隔板的对应安装孔上，在下封头的中部设有进气端，在炉体的中部设有进料端，在炉体的顶部设有出气端，在炉体的下部外侧固定连接有换热壳，换热壳与对应位置的炉体形成换热环腔，在换热壳的下部设有与换热环腔相通的进水端，在换热壳的上部设有与换热环腔相通的出水端。