[实用新型]一种提拉式镀膜装置

权利要求书

1.一种提拉式镀膜装置，其特征在于，其包括支架、工作平台、镀膜池、提拉机构和旋转夹料机构，所述支架和镀膜池设于所述工作平台上，所述提拉机构和旋转夹料机构设于所述支架上，所述提拉机构和旋转夹料机构设置在所述镀膜池的上方，所述提拉机构用于带动所述旋转夹料机构上下移动，所述旋转夹料机构用于夹持基片并带动所述基片旋转。

2.如权利要求1所述的提拉式镀膜装置，其特征在于，所述支架上还设有用于控制提拉机构及旋转夹料机构的控制装置，所述控制装置分别与所述提拉机构及旋转夹料机构电连接。

3.如权利要求2所述的提拉式镀膜装置，其特征在于，所述提拉机构包括驱动机构以及伸缩架，所述伸缩架一端固定在所述支架上，所述伸缩架与所述驱动机构相连且在所述驱动机构的推动下上下移动。

4.如权利要求3所述的提拉式镀膜装置，其特征在于，所述驱动机构为步进电机、气缸或液压缸。

5.如权利要求3所述的提拉式镀膜装置，其特征在于，所述旋转夹料机构顶部与所述提拉机构相连，所述旋转夹料机构包括旋转台、样品夹具、和旋转驱动装置，所述样品夹具内夹持有基片，所述旋转台的下表面上设置有旋转轨道，所述样品夹具与所述旋转轨道滑动配合且能沿所述旋转轨道运动，所述旋转驱动装置用于驱动所述样品夹具沿着所述旋转轨道水平旋转。

6.如权利要求5所述的提拉式镀膜装置，其特征在于，所述旋转轨道为圆形轨道。

7.如权利要求5所述的提拉式镀膜装置，其特征在于，所述控制装置包括移动控制结构和旋转控制结构，所述移动控制机构与所述驱动机构连接并用于控制伸缩架的上下移动，所述旋转控制机构与所述旋转驱动装置连接并用于控制所述样品夹具上的基片在旋转轨道内的运动。

8.如权利要求5所述的提拉式镀膜装置，其特征在于，所述样品夹具为夹口可调型夹具。