[实用新型]一种分段式多晶硅开方机的切割室有效
| 申请号： | 201721856249.8 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207874599U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 秦军存;尹美玲 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切割轮 多晶硅 切割室 分段式 开方机 切割丝 走线 匹配 伺服驱动电机 本实用新型 被动导轮 多晶硅锭 切割效率 使用寿命 主动导轮 开方 网框架 导轮 断线 方棒 划痕 减小 跨距 线弓 线锯 线网 切割 | ||
1.一种分段式多晶硅开方机的切割室，其特征在于：包括线网框架、安装在线网框架两端的主动切割轮组和安装在主动切割轮组之间的若干组被动切割轮组；其中，每组主动切割轮组包括两个用于切割丝走线的主动切割轮和与之相匹配的主动导轮，其中一个主动切割轮与伺服驱动电机连接；每组被动切割轮组包括两个用于切割丝走线的被动切割轮和与之相匹配的被动导轮；金刚石切割线从第一切割室中的一组主动切割轮组进线，经过若干组被动切割轮组，最后从另一组主动切割轮组出线，从而完成切割室内的循环往复的走丝系统，实现对晶硅的分段式开方。
2.如权利要求1所述的分段式多晶硅开方机的切割室，其特征在于：每组主动切割轮组的两个主动切割轮之间、每组被动切割轮组的两个被动切割轮之间跨距均在200-600mm之间，主动切割轮组与被动切割轮组之间、以及每组被动切割轮之间的距离在150-350mm之间。
3.如权利要求1或2所述的分段式多晶硅开方机的切割室，其特征在于：线网框架与每个主动切割轮、被动切割轮之间的距离在200-500mm之间。
4.如权利要求1所述的分段式多晶硅开方机的切割室，其特征在于：主动切割轮和被动切割轮均通过切割轮安装座安装在线网框架上，主动导轮和被动导轮均通过导轮安装座安装在线网框架上。
5.如权利要求1所述的分段式多晶硅开方机的切割室，其特征在于：金刚石切割线通过设置在开方机上的导轮和张力轮进入切割室，并从切割室内的一组主动切割轮组的主动切割轮开始走线。
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