[实用新型]一种干式特气尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置

说明书

一种干式特气尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置(3)、泵(2)、软管(4)、柜体排气口的钢管接头(5)和处理设备进气口的钢管接头(1)；毒气检测装置(3)的一端经软管(4)连接于柜体排气口的钢管接头(5)，另一端经软管(4)连接于泵(2)；泵(2)一端经软管(4)连接毒气检测装置(3)的排气口，另一端经软管(4)连接于处理设备进气口钢管接头(1)；启动泵(2)工作，柜体排气口的钢管接头(5)处气体样本被抽取，经软管(4)流经毒气检测装置(3)，毒气检测装置(3)检测被抽取气体样本的浓度，然后经泵(2)的气体通路排到处理设备进气口的钢管接头(1)处。

技术领域

本实用新型属于干式工艺特气尾气处理技术领域，特别涉及一种尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置。

背景技术

干式特气尾气处理设备主要用在半导体、太阳能光伏等行业中，用于处理上述行业中从各种工艺主设备中排出的未完全消耗的特殊气体，通常这些气体都具有剧毒、易燃、可燃等特征，对环境及人体都会造成很大的危害，因此，尾气处理设备必须具备很高的安全性，泄漏是非常关键的安全因素；

目前，在干式特气尾气处理设备中，通常都是通过将柜体排气与工厂的厂务排风连接在一起，使得设备柜体内一直处于一个低于大气压的真空状态，即使泄漏气体一般也不会排放到工作区域；

上述方法有以下几个缺点：

1、设备被动与工厂厂务端连接在一起，当厂务端发生故障时，设备柜体内部就会处于常压状态，大大降低了设备的安全性；

2、工作人员不知道设备是否处于泄漏状态，可能会在设备泄漏的状态下打开设备，进而发生安全事故；

3、由于设备被动与厂务端连接在一起，进而在厂务端故障和设备泄漏同时发生时，没有应急方案，泄漏的气体将会排放进入工作区域内，造成环境、人员及的损害及后期清理的费用，若发生安全事故，损失是不可估量的。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型旨在提供一种干式特气尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置，能更实时和更精确地获得设备柜体内毒气浓度。

本实用新型的技术方案是，一种干式特气尾气处理设备柜体内毒气浓度监测装置，包括毒气检测装置、泵、软管、柜体排气口的钢管接头和处理设备进气口的钢管接头；所述毒气检测装置的一端经软管连接于柜体排气口的钢管接头，另一端经软管连接于泵，所述毒气检测装置用于测定流经的气体浓度；所述泵一端经软管连接毒气检测装置的排气口，另一端经软管连接于处理设备进气口钢管接头；启动泵工作，柜体排气口的钢管接头处气体样本被抽取，经软管流经毒气检测装置，毒气检测装置检测被抽取气体样本的浓度，然后经泵的气体通路排到处理设备进气口的钢管接头处，因此，被检测的气体样本最终会重新流回设备进气口再进入到罐体内部，即使检测样本中含有有毒成分也不会直接流出设备造成污染。

进一步的，上述泵为气动泵，利用气体驱动工作，无需电源。

进一步的，上述述软管为透明PVC软管。

进一步的，本实用新型装置还包括与毒气检测装置连接的控制器，以接收毒气检测装置检测获得的气体浓度信号。

更进一步的，上述控制器有气体浓度预警和报警设置。

进一步的，毒气检测装置具有根据气体种类的不同进行切换的传感器。

进一步的，上述软管的中间部分固定在机柜柜体上，以避免相互缠绕和下垂弯曲影响气体流通。