[实用新型]拆卸工具

说明书

一种拆卸工具，用于拆卸研磨垫的修整头，所述研磨垫包括一固定盘，所述修整头与所述固定盘之间通过吸力吸附连接，且所述修整头与所述固定盘之间具有一拆卸口，其特征在于，所述拆卸工具包括：拆卸部，所述拆卸部具有杠杆结构，所述杠杆结构一端用于放入所述拆卸口内，拆卸所述修整头；接盘，所述接盘与所述拆卸部之间通过连接杆连接，用于接住拆卸下的修整头。这种拆卸工具使拆卸修整头的操作更加便利，且减少修整头掉落对其他部件造成损伤的可能性。

技术领域

本实用新型涉及研磨垫领域，尤其涉及一种拆卸工具。

背景技术

化学机械研磨过程中，通常使用修整头来修整研磨垫，修整头采用磁力吸附的方式安装于钻石盘支架末端的固定盘上。修正头在工作过程中会存在磨损，需要定期更换，以确保修整头的工作效果。

修整头安装于固定盘上时，所述固定盘与修整头之间具有与一拆卸口，便于拆卸修整头。现有的常规拆卸修整头的方法是采用一字螺丝刀放入拆卸口，然后向下撬，使得修整头直接从固定盘上掉落。然而通过一字螺丝刀操作并不便利，并且修整头直接掉落，可能会磕碰到机台的其他部件，从而对机台的其他部件造成损伤。

所以，需要提供一种新的拆卸工具，使拆卸修整头的操作更加便利，且减少修整头掉落对其他部件造成损伤的可能性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种拆卸工具。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种拆卸工具，用于拆卸研磨垫的修整头，所述研磨垫包括一固定盘，所述修整头与所述固定盘之间通过吸力吸附连接，且所述修整头与所述固定盘之间具有一拆卸口，其特征在于，所述拆卸工具包括：拆卸部，所述拆卸部具有杠杆结构，所述杠杆结构一端用于放入所述拆卸口内，拆卸所述修整头；接盘，所述接盘与所述拆卸部之间通过连接杆连接，用于接住拆卸下的修整头。

可选的，所述杠杆结构包括：动力臂以及与所述动力臂一端连接的阻力臂，所述阻力臂的另一端用于放入所述拆卸口内，撬动所述修整头。

可选的，所述动力臂的长度大于所述阻力臂的长度。

可选的，所述动力臂与所述阻力臂之间具有夹角。

可选的，所述拆卸部还包括一支撑杆，所述支撑杆一端用于放入所述拆卸口内；所述杠杆结构的动力臂与阻力臂的连接处通过一转轴固定于所述支撑杆上，且所述杠杆结构能够绕所述转轴转动。

可选的，所述连接杆与所述支撑杆之间垂直固定连接，用于固定所述支撑杆与接盘之间的相对位置。

可选的，所述连接杆通过所述转轴与所述支撑杆连接。

可选的，所述接盘为圆形、椭圆形、正方形或长方形。

可选的，所述接盘具有一凹陷处，所述凹陷处的尺寸大于所述修整头的尺寸，用于放置所述修整头。

可选的，所述连接杆与所述接盘的边缘连接，垂直于所述接盘。

本实用新型的拆卸工具包括拆卸部和接盘，通过拆卸部对修整头进行拆卸，所述拆卸部包括杠杆结构，利用杠杆原理使拆卸过程更简便省力，且通过接盘接住拆卸时掉落的修整头，从而避免修整头掉落对其他器件产生影响。

附图说明

图1为本实用新型一具体实施方式的拆卸工具的结构示意图；

图2为本实用新型一具体实施方式的拆卸工具一端放入拆卸口的结构示意图；

图3为本实用新型一具体实施方式的拆卸工具拆卸修整头时的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型提供的一种拆卸工具的具体实施方式做详细说明。