[实用新型]真空设备用高真空磁流体密封联轴器

说明书

本实用新型公开了真空设备用高真空磁流体密封联轴器，包括带齿轮传动结构的传动轴、壳体、电机固定套，壳体靠近齿轮的一侧端面与真空设备的真空腔壁固定，传动轴通过其上设置的齿轮传动结构与真空设备内部的齿轮匹配连接，电机固定套内设置伺服电机，并通过锁紧圈固定，壳体的另一端通过螺栓与电机固定套固定连接，传动轴远离齿轮齿轮传动结构的一端设置有内控嵌入式紧配结构，并通过键与伺服电机的主动轴紧配安装，壳体内设置有磁流体密封和传动结构。本实用新型可有效提高真空密封性能和传动性能，延长设备的维护周期，降低设备的维护成本。

技术领域

本实用新型涉及联轴器，具体涉及一种真空设备用高真空磁流体密封联轴器。

背景技术

磁流体，又称磁性流体或磁性胶体，是一种具有超顺磁特性的胶体材料，它兼有固体磁性材料的磁性和液体的流动性。一种性能优良的磁流体，应该具有高稳定性、高饱和磁化强度、低粘度和低饱和蒸气压。

联轴器是用来联接不同机构中的两根轴（主动轴和从动轴）使之共同旋转以传递扭矩的机械零件。在高速重载的动力传动中，有些联轴器还有缓冲、减振和提高轴系动态性能的作用。联轴器由两部分组成，分别与主动轴和从动轴联接。一般动力机大都借助于联轴器与工作机相联接。

目前市场上，除了传统的联轴器之外，还有磁力传动联轴器，原理是通过磁力耦合进行动力传动，缺点是靠磁力传输来传送动力，动力会有滞后无法完全同步。还有，波纹管联轴器也是一种新的产品，具有密封功能，但是只是限于直线往复方向的密封。

高真空磁流体密封联轴器，是磁流体的一种高端应用产品，它既具有磁流体的高真空回转密封性能，又具有联轴器的高效传动性能，是把外界的主动力传输到半导体设备真空密封腔内的一种高端联轴器。相比较传统的联轴器或者磁力传动联轴器、波纹管联轴器，高真空磁流体联轴器的特点是兼具高真空回转密封性能的同时，而且还稳定可靠、无泄漏、无机械磨损、使用寿命长、动力传动效率高。

单一的磁流体密封和普通的机械联轴器的连接，有时存在同轴度不良，回转稳定性不够好的情况，给一些高端真空设备的维护增加了额外的维护时间和成本。为同时提高真空设备的真空密封性能和传动性能，延长设备的维护周期，降低设备的维护成本，本发明创新开发了真空设备用高真空磁流体密封联轴器。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于设计提供一种真空设备用高真空磁流体密封联轴器。

所述的真空设备用高真空磁流体密封联轴器，其特征在于包括带齿轮传动结构的传动轴、壳体、电机固定套，所述壳体靠近齿轮传动结构的一侧端面与真空设备的真空腔壁固定，传动轴通过其上设置的齿轮传动结构与真空设备内部的齿轮匹配连接，电机固定套内设置伺服电机，并通过锁紧圈固定，壳体的另一端通过螺栓与电机固定套固定连接，所述传动轴远离齿轮传动结构的一端设置有内控嵌入式紧配结构，并通过键与伺服电机的主动轴紧配安装，所述壳体内设置有磁流体密封和传动结构。

所述的真空设备用高真空磁流体密封联轴器，其特征在于所述磁流体密封和传动结构包括传动轴、轴承、磁极、钕铁硼磁钢、磁液槽，所述磁液槽设置在传动轴的外表面，轴承设置在传动轴与壳体内壁之间。

所述的真空设备用高真空磁流体密封联轴器，其特征在于所述轴承设置有两个，两个轴承之间设置有两个磁极，两个磁极之间设置有钕铁硼磁钢。

所述的真空设备用高真空磁流体密封联轴器，其特征在于所述磁液槽设置有多个，每一磁液槽内储存指定量的耐高真空的磁流体液体，形成一级密封，每一级磁流体密封至少承受0.15个大气压。

与传统的联轴器、磁力传动联轴器、波纹管联轴器比较，本发明的技术优点：

1）传动轴真空端通过齿轮传动结构与真空设备内部的齿轮匹配连接，可通过匹配不同大小或者不同类型的齿轮实现同步传动、减速传动或者平行传动、交错传动等具有传动效率高、传动比准确和结构紧凑等优点；