[实用新型]真空设备用高真空磁流体密封联轴器有效

专利信息
申请号: 201721789510.7 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN208089802U 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 黄昌盛;徐美婷;楼允洪 申请(专利权)人: 杭州维科磁电技术有限公司
主分类号: F16D37/02 分类号: F16D37/02;F16J15/43
代理公司: 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 代理人: 吴秉中
地址: 310012 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 真空设备 磁流体密封 电机固定套 传动结构 传动轴 壳体 本实用新型 伺服电机 高真空 联轴器 齿轮 齿轮传动结构 真空密封性能 螺栓 齿轮齿轮 传动性能 降低设备 紧配结构 匹配连接 维护周期 一端设置 带齿轮 嵌入式 锁紧圈 真空腔 主动轴 内控 体内 维护
【权利要求书】:

1.真空设备用高真空磁流体密封联轴器,其特征在于包括带齿轮传动结构(1)的传动轴(2)、壳体(3)、电机固定套(4),所述壳体(3)靠近齿轮传动结构(1)的一侧端面与真空设备的真空腔壁固定,传动轴(2)通过其上设置的齿轮传动结构(1)与真空设备内部的齿轮匹配连接,电机固定套(4)内设置伺服电机(5),并通过锁紧圈(6)固定,壳体(3)的另一端通过螺栓与电机固定套(4)固定连接,所述传动轴(2)远离齿轮传动结构(1)的一端设置有内控嵌入式紧配结构,并通过键(7)与伺服电机(5)的主动轴(8)紧配安装,所述壳体(3)内设置有磁流体密封和传动结构。

2.如权利要求1所述的真空设备用高真空磁流体密封联轴器,其特征在于所述磁流体密封和传动结构包括传动轴(2)、轴承(9)、磁极(10)、钕铁硼磁钢(11)、磁液槽(12),所述磁液槽(12)设置在传动轴(2)的外表面,轴承(9)设置在传动轴(2)与壳体(3)内壁之间。

3.如权利要求2所述的真空设备用高真空磁流体密封联轴器,其特征在于所述轴承(9)设置有两个,两个轴承(9)之间设置有两个磁极(10),两个磁极(10)之间设置有钕铁硼磁钢(11)。

4.如权利要求2所述的真空设备用高真空磁流体密封联轴器,其特征在于所述磁液槽(12)设置有多个,每一磁液槽内储存指定量的耐高真空的磁流体液体,形成一级密封,每一级磁流体密封至少承受0.15个大气压。

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