[实用新型]一种芯片测试机上的真空除尘结构有效

专利信息
申请号: 201721787488.2 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN207769407U 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 晏云飞;陈迎涛;周俊;张伟军 申请(专利权)人: 上海伟测半导体科技有限公司
主分类号: B01D46/02 分类号: B01D46/02;B01D46/04
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 朱九皋
地址: 201201 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 箱体内部 喷吹管 下端 脉冲电磁阀 滤袋框架 网孔板 灰斗 除尘结构 除尘滤袋 芯片测试 出气嘴 控制仪 引风机 真空泵 气包 气管 本实用新型 电性连接 阀门设置 箱体连接 除尘 阀门 排出 重复
【权利要求书】:

1.一种芯片测试机上的真空除尘结构,包括装置主体和喷吹机构(6),其特征在于:所述装置主体包括箱体(1)、真空泵(2)、引风机(3)、网孔板(5)、除尘滤袋(7)、阀门(8)、灰斗(9)和滤袋框架(13),所述真空泵(2)与箱体(1)连接,所述引风机(3)设置在箱体(1)内部上侧,所述网孔板(5)设置在箱体(1)内部,所述滤袋框架(13)设置在网孔板(5)下端,所述除尘滤袋(7)设置在滤袋框架(13)内部,所述灰斗(9)设置在箱体(1)内部下端,所述阀门(8)设置在灰斗(9)下端;

所述喷吹机构(6)设置在箱体(1)内部,所述喷吹机构(6)包括喷吹管(61)、脉冲电磁阀(62)、气包(63)、控制仪(64)和出气嘴(65),所述喷吹管(61)设置在箱体(1)内部上侧,所述气包(63)通过气管与喷吹管(61)连接,所述脉冲电磁阀(62)安装于气管上,所述控制仪(64)与脉冲电磁阀(62)电性连接,所述喷吹管(61)下端设置出气嘴(65)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片测试机上的真空除尘结构,其特征在于:所述箱体(1)左端面设置有进气口(10),且进气口(10)左端连接吸风管(12),且吸风管(12)左端设置吸风罩(11)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片测试机上的真空除尘结构,其特征在于:所述出气嘴(65)设有若干个,若干个出气嘴(65)等距排布于喷吹管(61)下端。

4.根据权利要求1所述的一种芯片测试机上的真空除尘结构,其特征在于:所述网孔板(5)下端面设置有粘灰胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种芯片测试机上的真空除尘结构,其特征在于:所述箱体(1)上端面铰接有上盖板(4)。

6.根据权利要求1所述的一种芯片测试机上的真空除尘结构,其特征在于:所述滤袋框架(13)和除尘滤袋(7)均设有若干个,若干个所述滤袋框架(13)等距排布于网孔板(5)下端面。

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