[实用新型]硅片超声波清洗装置有效
| 申请号： | 201721786417.0 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207770403U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 胡平忠 | 申请（专利权）人： | 扬州宏祥光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗槽 加热器 水温控制器 热风机 水浸传感器 组合控制器 硅片 超声波清洗装置 超声波发生器 底部中心 吊篮 串联 串联电路 从上至下 电性连接 进水管道 排水管道 有效控制 左侧内壁 防护垫 下开启 磕碰 沥干 排水 缺水 安全 | ||
1.一种硅片超声波清洗装置，其特征在于：包括清洗槽(1)、热风机(2)、组合控制器(3)、加热器(4)以及超声波发生器(5)，所述清洗槽(1)为U形槽罐，所述清洗槽(1)左侧内壁上方安装有所述热风机(2)，所述热风机(2)下方安装有所述组合控制器(3)，所述组合控制器(3)从上至下分别包括水浸传感器(6)和水温控制器(7)，所述水浸传感器(6)串联在所述水温控制器(7)的串联电路上，所述水温控制器(7)与所述加热器(4)电性连接，所述加热器(4)设置有两对，通过固定块(8)分别安装在所述清洗槽(1)的前后内壁上，所述固定块(8)上方铺设有防护垫(9)，所述固定块(8)下方左右分别安装有所述超声波发生器(5)，所述清洗槽(1)底部左侧连接有进水管道(10)，底部中心连接有排水管道(11)。
2.根据权利要求1所述的硅片超声波清洗装置，其特征在于：所述热风机(2)底部安装有保护块(12)。
3.根据权利要求2所述的硅片超声波清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(1)左右侧壁顶端分别竖直安装有挡水板(13)。
4.根据权利要求3所述的硅片超声波清洗装置，其特征在于：所述进水管道(10)和排水管道(11)上分别安装有电子控制阀(12)。
5.根据权利要求4所述的硅片超声波清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(1)外壁上安装有控制面板(14)，所述控制面板(14)包括所述水温控制器(7)的显示屏及所述超声波发生器(5)、电子控制阀(12)的开关按钮。
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