[实用新型]离子源及质谱仪

说明书

本实用新型涉及一种离子源，包括引出极板、第一绝缘件、第一接地板、第一套筒、离子聚焦模块、第二接地板、连接件、反射镜及偏转模块。引出极板通过第一绝缘件与第一接地板相连。第一套筒一端与第一接地板相连，第一套筒另一端与离子聚焦模块相连。所述第二接地板与离子聚焦模块之间具有间隔，第二接地板通过连接件与离子聚焦模块相连。反射镜设置在第二接地板上。偏转模块设置在第二接地板上。上述的离子源，由于引出极板、第一绝缘件、第一接地板、第一套筒、离子聚焦模块、反射镜及偏转模块均组装成一个整体，并非如传统的离子源是相互独立的设计，因此能够便于在质谱仪上进行组装更换操作。

技术领域

本实用新型涉及检测仪器技术领域，特别是涉及一种离子源及质谱仪。

背景技术

质谱仪主要包括离子源、质量分析器与检测器。其中，离子源是用于利用极片和电系统的结合产生的电场将存在初始分散的离子加速、聚焦、偏转引入无场飞行区。质量分析器将不同质量的离子进行分离后依次送入到检测器中进行检测。传统的离子源的双场加速区、离子聚焦系统、离子偏转系统、光学引入系统等各个部件相互独立，组装更换困难。

发明内容

基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种离子源及质谱仪，它能够便于组装更换。

其技术方案如下：一种离子源，包括：引出极板、第一绝缘件、第一接地板，所述引出极板通过所述第一绝缘件与所述第一接地板相连，所述引出极板设有引出孔，所述第一接地板设有与所述引出孔相应的第一通孔；第一套筒、离子聚焦模块，所述第一套筒一端与所述第一接地板相连，所述第一套筒另一端与所述离子聚焦模块相连，所述第一套筒的通孔与所述引出孔相应设置；第二接地板、连接件，所述第二接地板设有与所述引出孔相应的第二通孔，所述第二接地板与所述离子聚焦模块之间具有间隔，所述第二接地板通过所述连接件与所述离子聚焦模块相连；反射镜，所述反射镜设置在所述第二接地板上，所述反射镜用于将外部光路通过所述离子聚焦模块、所述第一套筒的通孔、所述第一通孔、所述引出孔反射至样品靶上；偏转模块，所述偏转模块设置在所述第二接地板上。

一种质谱仪，包括所述的离子源，还包括用于放置待测样品的样品靶，以及用于分析离子的质量分析器。

上述的离子源及质谱仪，装设至质谱仪上工作时，可以将外部激光、照明光路、成像光路通过反射镜引入至样品靶上；外部激光照射至样品靶上的样品时，会激发样品产生出带电离子；带电离子在加压的样品靶、引出极板产生的电场作用下，会加速飞行，并依次穿过引出孔、第一通孔、第一套筒的通孔、离子聚焦模块以及偏转模块，后进入到质量分析器中分析处理。照明光路能相应照亮样品靶上的样品，通过成像光路可以获取到样品靶上的样品的图像信息。由于引出极板、第一绝缘件、第一接地板、第一套筒、离子聚焦模块、反射镜及偏转模块均组装成一个整体，并非如传统的离子源是相互独立的设计，因此能够便于在质谱仪上进行组装更换操作。

进一步地，所述引出孔、所述第一通孔、所述第一套筒的通孔、所述第二通孔同轴设置，所述引出孔、所述第一通孔、所述第一套筒的通孔及所述第二通孔形成离子光路，所述反射镜的反射面与所述离子光路之间的夹角a为45度至50度。如此，相对于样品靶平行的入射激光通过反射镜反射，反射出的反射激光能够以与离子光路小于10度的夹角依次通过离子聚焦模块、第一套筒的通孔、第一通孔、引出孔射入至样品靶的样品上。也就是说，反射激光以近似垂直于样品靶的方向轰击样品靶上的样品。反射激光的入射角减小，这样激光激发样品电离出的离子的初始分散基本是沿着离子源中轴方向发射，进而能大大提高仪器分辨率与灵敏度。

进一步地，所述反射镜包括第一反射镜与第二反射镜，所述第一反射镜用于将激光反射至所述样品靶上，所述第二反射镜用于将所述样品靶上的图像信息反射至图像撷取装置中。如此，第一反射镜、第二反射镜能分别用于反射激光光图像信息。