[实用新型]离子源及质谱仪

权利要求书

1.一种离子源，其特征在于，包括：

引出极板、第一绝缘件、第一接地板，所述引出极板通过所述第一绝缘件与所述第一接地板相连，所述引出极板设有引出孔，所述第一接地板设有与所述引出孔相应的第一通孔；

第一套筒、离子聚焦模块，所述第一套筒一端与所述第一接地板相连，所述第一套筒另一端与所述离子聚焦模块相连，所述第一套筒的通孔与所述引出孔相应设置；

第二接地板、连接件，所述第二接地板设有与所述引出孔相应的第二通孔，所述第二接地板与所述离子聚焦模块之间具有间隔，所述第二接地板通过所述连接件与所述离子聚焦模块相连；

反射镜，所述反射镜设置在所述第二接地板上，所述反射镜用于将外部光路通过所述离子聚焦模块、所述第一套筒的通孔、所述第一通孔、所述引出孔反射至样品靶上；

偏转模块，所述偏转模块设置在所述第二接地板上。

2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述引出孔、所述第一通孔、所述第一套筒的通孔、所述第二通孔同轴设置，所述引出孔、所述第一通孔、所述第一套筒的通孔及所述第二通孔形成离子光路，所述反射镜的反射面与所述离子光路之间的夹角a为45度至50度。

3.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述反射镜包括第一反射镜与第二反射镜，所述第一反射镜用于将激光反射至所述样品靶上，所述第二反射镜用于将所述样品靶上的图像信息反射至图像撷取装置中。

4.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述连接件能够用于调节所述第二接地板远离或靠近所述离子聚焦模块。

5.根据权利要求4所述的离子源，其特征在于，所述连接件包括套管与螺杆；所述套管内侧壁设有与所述螺杆相配合的螺纹，所述套管设置在所述离子聚焦模块上；所述螺杆贯穿所述第二接地板，且所述螺杆与所述第二接地板可转动连接，所述螺杆插装至所述套管中。

6.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述离子聚焦模块包括第一极板、第二极板、导电柱、第二绝缘件、第三绝缘件、第三接地板及第四接地板；所述第一极板通过所述导电柱与所述第二极板相连，所述第一极板通过所述第二绝缘件与所述第三接地板相连，所述第一极板具有与所述引出孔相应的第三通孔；所述第三接地板设有与所述引出孔相应的第四通孔，所述第三接地板与所述第一套筒相连；所述第二极板通过所述第三绝缘件与所述第四接地板相连，所述第二极板设有与所述引出孔相应的第五通孔；所述第四接地板设有与所述引出孔相应的第六通孔，所述第四接地板与所述连接件相连。

7.根据权利要求6所述的离子源，其特征在于，所述第二接地板侧部具有凸耳，所述凸耳用于电性连接至质谱仪外筒的内侧壁；所述连接件为导电件，所述第一套筒为导电套筒，第四接地板通过导线与所述第三接地板或第一接地板电性连接。

8.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，还包括第二套筒与第三套筒；所述第二套筒设置在所述离子聚焦模块端面上，所述第二套筒的通孔与所述引出孔相应设置，所述第二套筒端面与所述第二接地板间隔设置；所述第三套筒设置所述第二接地板上，且所述第三套筒套设在所述偏转模块外部。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的离子源，其特征在于，所述引出孔为锥型孔，所述锥型孔的孔径在远离所述样品靶的方向上逐渐变大。

10.一种质谱仪，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的离子源，还包括用于放置待测样品的样品靶，以及用于分析离子的质量分析器。