[实用新型]蒸镀设备

说明书

本实用新型的实施例涉及一种蒸镀设备，包括蒸镀腔，所述蒸镀腔包括至少一个至少部分地向腔内辐射微波的微波发射器。本实用新型实施例提供的蒸镀设备对蒸镀腔内的水汽进行针对性的去除，能够高效、低能耗且迅速地去除蒸镀腔内和材料中的残留水汽，以确保腔内的真空度，提高所加工的电子器件的性能和寿命，同时尽量避免对其他构件的影响。

技术领域

本实用新型涉及一种蒸镀设备，属于蒸镀工艺用装置领域。

背景技术

包括有机电致发光器件在内的各种电子器件的制备工序中要用到蒸镀设备，蒸镀设备在使用过程中，蒸镀腔在更换材料、挡板、晶振传感器等操作时需要频繁开腔，且打开时间较长，因此空气中的水氧很容易进入腔内并吸附在腔壁和腔内，材料中也会残留水汽，腔内和材料中的残留水分难以排除，会严重影响器件的制造。残留的水分还会导致腔内达到合适的真空度耗时较长。

以OLED为例，经过近三十年的发展，有机电致发光器件(简称为OLED)作为下一代照明和显示技术，具有色域宽、响应快、高对比度等优点，已经在照明和显示上得到了广泛的应用。目前的OLED主要使用真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀法)进行有机发光层的制备，真空蒸发镀膜法是在真空蒸镀室中通过蒸镀源对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料的原子或分子从其表面气化逸出形成蒸汽流，入射到待蒸镀基板表面，凝结形成固态薄膜的方法。真空蒸镀法已经广泛应用于显示器件的制作过程，例如OLED显示面板的阴极、阳极以及位于阴极和阳极之间的发光材料层。

发明内容

根据第一方面，本实用新型的实施例提供一种蒸镀设备，包括蒸镀腔，所述蒸镀腔包括至少一个至少部分地向腔内辐射微波的微波发射器。

可选地，所述微波发射器位于蒸镀腔内，和/或蒸镀腔腔壁内表面，和/或嵌入到蒸镀腔腔壁。

可选地，所述微波发射器包括波导管，所述波导管与位于所述蒸镀腔外部的微波发生器耦接，所述微波发生器的天线伸入波导管。

可选地，所述微波发射器包括微波发生器。

可选地，所述蒸镀设备包括：位于所述蒸镀腔内的蒸发源；以及

支撑柱，用于承载待蒸镀的基板和与基板对位的掩膜板，其中，至少一个微波发射器设置在所述支撑柱上。

可选地，所述支撑柱包括：基部，连接到所述蒸镀室的腔壁；以及

支撑部，其从所述基部延伸，并形成面向所述蒸发源的开口，其中，至少一个微波发射器设置在所述支撑部的外壁上。

可选地，所述支撑部包括对称设置的臂部。

可选地，所述支撑部在远离所述基部的一侧上设置有延伸部，至少一个微波发射器设置在所述延伸部的远离所述基部的侧壁上。

可选地，至少一个微波发射器与待蒸镀的基板之间设有遮挡件。

可选地，所述蒸镀腔包括至少一个微波吸收板。

可选地，所述至少一个微波吸收板位于蒸镀腔腔壁的顶端。

可选地，包括至少一个微波吸收板，所述至少一个微波吸收板位于待蒸镀的基板的一侧。

可选地，在待蒸镀的基板的两侧分别设有至少一个微波吸收板。

可选地，所述微波吸收板包括微波吸收部和冷却装置。

本实用新型实施例提供的蒸镀设备对蒸镀腔内的水汽进行针对性的去除，能够高效、低能耗且迅速地去除蒸镀腔内和材料中的残留水汽，以确保腔内的真空度，提高所加工的电子器件的性能和寿命，同时尽量避免对其他构件的影响。

附图说明