[实用新型]一种真空室门密封结构

说明书

本实用新型属于真空技术领域，具体为一种真空室门密封结构，包括真空室体和密封设于真空室体出入口位置的真空室门，所述的真空室门的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽，槽内分别放置内层密封圈和外层密封圈，所述的真空室门上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔。针对高温环境下大型真空腔室，实现真空室腔体在高温环境下高极限真空和低本底漏率的技术要求。双层橡胶密封结构，一方面在夹层中通入循环水对橡胶进行冷却，另一方面在夹层结构的中间使用真空泵抽真空，通过中间的真空层隔绝空气的渗透。从而从降温减小橡胶的渗透率、放气率和真空隔绝减小橡胶对真空室的影响这两个途径提高真空室的极限真空度、降低本底漏率。

技术领域

本实用新型属于真空技术领域，具体涉及一种真空室门密封结构。

背景技术

真空腔室广泛应用于真空领域中，而真空室门则是影响真空室内真空度和漏率的重点部位。

在真空设备系统中，真空室门部分由于需要经常开闭，从提高效率、方便操作和节约成本考虑，其密封形式通常采用能够重复使用的橡胶密封，而橡胶材料则选用在真空领域广泛使用的氟橡胶材料。氟橡胶具有耐180℃高温和渗透率低的特点。

然而相对于金属密封，橡胶密封由于橡胶材料不如金属材料致密、耐热，导致其放气率和渗透率较高。真空室门作为影响真空系统真空度和本底漏率的重点部位，合理有效的密封结构将对真空应用设备达到技术指标起到重要的作用。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种空室门密封结构及真空腔室，其能够满足高温条件下(250℃)真空腔室内高极限真空度和低本底漏率的使用要求。

本实用新型的技术方案如下：

一种真空室门密封结构，包括真空室体和密封设于真空室体出入口位置的真空室门，所述的真空室门的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽，槽内分别放置内层密封圈和外层密封圈，所述的真空室门上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔。

所述的真空室体出入口位置设有密封法兰，所述的真空室门的安装位置与密封法兰接触。

所述的密封法兰上加工水冷回路。

所述的水冷回路在真空室体的径向方向上的位置在内层密封圈和外层密封圈之间。

所述的夹层真空腔的真空度为10^-1-10^-3Pa。

所述的夹层真空腔与真空泵连通。

本实用新型的有益效果如下：

设计双层水冷抽真空密封结构，针对高温环境下大型真空腔室，实现真空室腔体在高温环境下高极限真空和低本底漏率的技术要求。

在真空室门及腔体密封法兰处设计两个密封圈，且在两个密封圈之间设计一个夹层真空腔，并用真空泵对该腔体排气至10^-1Pa量级；在密封圈安装处设计冷却水回路，降低法兰温度。

使用双层橡胶密封结构，一方面在夹层中通入循环水对橡胶进行冷却，另一方面在夹层结构的中间使用真空泵抽真空，通过中间的真空层隔绝空气的渗透。从而从降温减小橡胶的渗透率、放气率和真空隔绝减小橡胶对真空室的影响这两个途径提高真空室的极限真空度、降低本底漏率。

相对于常规单层密封圈结构，采用该特殊结构后，提高了真空腔室内的极限真空度——从3.5×10^-5Pa提高到7.6×10^-6Pa，降低了真空腔室内的本底漏率——从2.0×10^-9Pa·m³·s^-1到3.5×10^-10Pa·m³·s^-1。