[实用新型]一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201721752635.2 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207552434U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 朱朋建;孙红霞;胡超;舒毅;潘登;陈凡;徐国军 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;张应 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 阻挡单元 靶材 溅射 膜层 溅射镀膜装置 太阳能电池 正投影 阻挡 本实用新型 产业化生产 厚度一致性 灵活设置 均匀性 重合 对靶 | ||
1.一种用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置包括：
用于向衬底溅射的靶材；
位于所述靶材与所述衬底之间的阻挡单元，所述阻挡单元在所述衬底上的正投影与所述靶材在所述衬底上的正投影部分重合。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述阻挡单元相对所述靶材固定，且所述阻挡单元在所述靶材上的正投影位于所述靶材的中部。
3.根据权利要求2所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述阻挡单元的长度占所述靶材长度的50％-75％。
4.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述靶材设置有四块，四块靶材沿着一字排列，所述阻挡单元设置在排列方向上位于末端的靶材处。
5.根据权利要求1所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述用于太阳能电池的溅射镀膜装置还包括用于容纳所述靶材的靶仓。
6.根据权利要求5所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述靶仓内设置有用于容纳所述靶材的容纳槽，所述靶仓靠近衬底的一侧设置有与所述容纳槽连通的开口。
7.根据权利要求6所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述阻挡单元固定在所述靶仓设有所述开口的一侧，且所述阻挡单元覆盖在所述开口的中部。
8.根据权利要求7所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述阻挡单元通过螺钉固定在所述靶仓上。
9.根据权利要求8所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述阻挡单元的宽度大于等于所述开口的宽度，且所述阻挡单元的长度占所述开口长度的50％-75％。
10.根据权利要求1-9任一项所述的用于太阳能电池的溅射镀膜装置，其特征在于，所述阻挡单元为挡板，所述挡板上设置有防腐蚀膜层。
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