[实用新型]一种传感器有效
| 申请号: | 201721709992.0 | 申请日: | 2017-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN207688895U | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
| 发明(设计)人: | 周蕤;沈振鹏;李君;尼克·德·罗伊;周国富 | 申请(专利权)人: | 深圳市国华光电科技有限公司;深圳市国华光电研究院;华南师范大学 |
| 主分类号: | G01D5/241 | 分类号: | G01D5/241 |
| 代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 唐致明;洪铭福 |
| 地址: | 518110 广东省深圳市龙华新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电极 下电极 传感器 投影 本实用新型 传感材料 相交点 基板 微桥 电容式传感器 非线性误差 电极接触 电极设置 高灵敏度 变极 差动 传感 减小 平行 相交 测量 | ||
1.一种传感器,包括基板,其特征在于,所述传感器还包括至少一个下电极、至少一个中电极和至少一个上电极;所述下电极设置于基板上方,所述中电极、上电极设置于所述下电极的上方且所述下电极、中电极、上电极分别设置于空间中相互平行的不同平面上,所述传感器的下电极的投影、中电极的投影和上电极的投影相交于投影相交点以形成至少一个微桥,所述传感器还包括与中电极接触的传感材料,所述传感材料设置于投影相交点上。
2.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述传感器的下电极的正投影、中电极的正投影和上电极的正投影相交于投影相交点。
3.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述传感器的下电极的正投影、中电极的正投影和上电极的正投影垂直相交于投影相交点。
4.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述下电极、中电极、上电极的材质为纳米银材料。
5.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述传感材料的厚度为2-3μm。
6.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,所述传感材料包括醋酸丁酸纤维素、纳米铜功能复合材料或石蜡基功能复合材料。
7.根据权利要求1至6任一项所述的传感器,其特征在于,所述基板为PET基板。
8.根据权利要求1至6任一项所述的传感器,其特征在于,所述中电极的厚度为2μm,宽度为80μm,长度为2mm。
9.根据权利要求1至6任一项所述的传感器,其特征在于,所述上电极的厚度为2μm,宽度为65μm,长度为1888μm。
10.根据权利要求1至6任一项所述的传感器,其特征在于,所述下电极的厚度为200nm,宽度为65μm,长度为1880μm。
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