[实用新型]一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关

说明书

本实用新型公开了一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，包括安装在缓冲罐体上端液位开关安装口内的液位开关体，液位开关体包括连接在液位开关体底部的插入管、固定插入管的固定件及安装在液位开关体一侧的电气连接部件；其中插入管插入缓冲罐体内；本实用新型针对现有技术不足，在缓冲罐上部安装一个插入式液位开关，当重量传感器漂移时，液位开关作为第二道液位控制手段，确保液位达到接触面后，即发出开关量，强制切断补液动作，从根本上消除液态源充满储罐后的重大安全隐患和污染环境的风险，保证系统始终安全运行；从根本上消除了由于缓冲罐液体充满后，由于push gas混入液体中产生气泡的可能，确保后端工艺机台液态源流量恒定，提高成品良率。

技术领域

本实用新型涉及PV光伏行业晶硅电池片领域，尤指一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关。

背景技术

半导体/光伏/光纤等先进制造业，会使用到如TMA，DEZ，SiCl4等有毒有害化学液态源，工艺机台对这类液态源的流量都很小通常＜1g/min，而且允许流量波动幅度通常＜10％。这个流量对于液体来说是极小的，而且需要持续稳定供应，这就对液态源供应系统提出了很高的恒压恒流要求，比如液体中混入了气泡，流经机台流量计时，就会显示大的流量波动，影响工艺参数和成品良率。

故如何消除已混入液态源的气泡，并防止新的气泡产生，同时保证系统安全稳定运行，都是非常重要的。

现在比较先进的系统设计中，在液态源通过管网进入工艺机台前，加装一个缓冲罐，实现一对一单独供应，由于为液态源，缓冲罐底部安装秤重传感器，来实时计量缓冲罐内液体重量，根据重量设定值来给出低液位报警或自动补料，设置缓冲罐的好处是可以消除前端集中供应系统中混入的气泡，因为当缓冲罐进行补料时，会把排气阀AV2和MV7打开排出储罐上部气体；但是如果重量传感器发生漂移，就会使得补液量得不到有效控制，储罐内液面会超过push gas推送气体的插入管，并且液态源充满整个缓冲罐，通过推送气体插入管，使得液面高过push gas隔离阀AV1和排气隔离阀AV2下面的三通口。

一旦出现上述情况，液态源会通过AV2和MV7，进入vent排气管，经过真空泵被直接压入scrubber，使得scrubber负荷过大来不及处理，造成严重的环境污染和安全事故；

当情况不是那么极端，液面仅仅是高于AV2，当恢复供液时，push gas通过AV1下面的三通混入液体中，把缓冲罐内液体通过出液插入管压送出去，并且这部分push gas会夹杂在液体中，被输送到机台端，引起机台端大的流量波动，影响工艺参数和成品良率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺点，提供一种确保缓冲罐安全稳定的适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：一种适用于TMA缓冲装置的音叉限位开关，包括安装在缓冲罐体上端液位开关安装口内的液位开关体，所述的液位开关体包括连接在液位开关体底部的插入管、固定插入管的固定件及安装在液位开关体一侧的电气连接部件；其中插入管插入缓冲罐体内。

作为本实用新型的一种优选技术方案，插入管插入深度长于推送气体插入管插入深度10～15mm。此液位开关的插入管长度(也即插入缓冲罐深度)合理，通常插入深度应长于推送气体插入管约10～15mm为宜，这样确保缓冲罐内液位始终不会高出推送气体插入管，同时又使得缓冲罐的有效补液量最大；

作为本实用新型的一种优选技术方案，插入管直径不大于10mm。液位开关的插入管直径为不大于10mm，以利于小型缓冲罐上的安装。

作为本实用新型的一种优选技术方案，插入管插入罐体部分铸造材料为SS316L不锈钢材料，与罐内液体接触部分材料要求SS316L电解抛光，既提高了耐腐蚀性，又保证不会对洁净的液态源造成二次污染。