[实用新型]多自由度和长行程的纳米级定位平台

权利要求书

1.一种多自由度和长行程的纳米级定位平台，其特征在于，包括伺服电机、固定支架、超磁致伸缩驱动器、线圈支架平台、光栅尺读数头、连接键、光栅尺和直线电机；其中：

所述伺服电机和超磁致伸缩驱动器均与所述固定支架相连接，且所述伺服电机、超磁致伸缩驱动器和所述固定支架均设置于所述线圈支架平台上方，所述线圈支架平台设置于所述直线电机上方，且所述固定支架可沿所述直线电机的延伸方向移动；

所述光栅尺设置于所述直线电机的两端，所述光栅尺读数头设置于所述光栅尺中，且可沿所述光栅尺的延伸方向移动，所述光栅尺读数头通过连接键与所述线圈支架平台相连接。

2.根据权利要求1所述的多自由度和长行程的纳米级定位平台，其特征在于，所述直线电机为平板型永磁直线伺服电机，所述直线电机的上方设置有滑轨，所述滑轨中设置有滑块，所述滑块与所述固定支架相连接。

3.根据权利要求2所述的多自由度和长行程的纳米级定位平台，其特征在于，所述固定支架为L型支架，所述L型支架的一侧面与所述线圈支架平台垂直且与所述超磁致伸缩驱动器相连接，所述L型支架的一侧面贴近所述线圈支架平台且位于所述伺服电机的下方。

4.根据权利要求1所述的多自由度和长行程的纳米级定位平台，其特征在于，所述超磁致伸缩驱动器包括超磁致伸缩元件、电流控制线圈和超磁致伸缩驱动器定子铁芯，所述超磁致伸缩元件与所述伺服电机的旋转主轴相连接，所述电流控制线圈安装于所述超磁致伸缩驱动器定子铁芯的内部。

5.根据权利要求4所述的多自由度和长行程的纳米级定位平台，其特征在于，所述超磁致伸缩元件为铁镓合金棒，所述铁镓合金棒直接与所述伺服电机的旋转主轴相连接。

6.根据权利要求4所述的多自由度和长行程的纳米级定位平台，其特征在于，所述超磁致伸缩驱动器定子铁芯的外部设置有机壳，所述机壳上设置有安装孔，所述超磁致伸缩驱动器通过所述安装孔与所述固定支架相连接。

7.根据权利要求1所述的多自由度和长行程的纳米级定位平台，其特征在于，所述伺服电机包括编码器、伺服电机线圈、伺服电机机壳、伺服电机定子铁芯、伺服电机永磁体和旋转主轴，所述伺服电机线圈设置于所述伺服电机定子铁芯中，所述伺服电机永磁体固定于所述旋转主轴上且与所述伺服电机定子铁芯相对设置，所述编码器设置于所述伺服电机机壳上，所述伺服电机机壳安装于所述固定支架上，所述伺服电机定子铁芯设置于所述伺服电机机壳的内部，所述旋转主轴与所述超磁致伸缩驱动器相连接。

8.根据权利要求1所述的多自由度和长行程的纳米级定位平台，其特征在于，还包括底座，所述底座位于所述直线电机和所述光栅尺的下方。